Mengapa Pemanasan IR Lebih Baik Daripada Penggunaan Udara Panas Dalam Proses Pembuatan Semikonduktor
Jika anda bekerja dalam bidang pembuatan semikonduktor, anda pasti tahu bahawa masa merupakan faktor yang paling penting. Setiap saat yang dihabiskan oleh wafer untuk menunggu sampai mencapai suhu yang sesuai merupakan kerugian kewangan yang besar.
Kebanyakan orang menggunakan kaedah penggunaan udara panas untuk memanaskan bahan tersebut. Namun, terdapat masalah utama dengan kaedah ini. Anda perlu memanaskan seluruh bilik hanya untuk memanaskan satu objek kecil sahaja. Anda perlu menunggu sehingga udara bergerak, dinding bilik menyerap haba tersebut, dan suhu di dalam bilik stabil sebelum substrat dapat merasai kesan pemanasan tersebut. Ia merupakan proses yang memakan masa.
Pemanasan IR mengelakkan masalah ini.
Daripada menggunakan udara, kita menggunakan radiasi elektromagnetik untuk menghantar tenaga secara langsung ke bahan tersebut. Proses ini berlaku dengan sangat cepat. Tidak perlu menunggu kipas beroperasi atau udara bergerak. Suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam beberapa saat sahaja. Bagi seorang jurutera, ini merupakan kelebihan yang besar kerana masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses pembuatan berkurangan dengan ketara.
Selain itu, masalah “titik sejuk” juga dapat dielakkan. Proses pemanasan menggunakan udara memang rumit. Sukar untuk memastikan suhu yang seragam, terutamanya pada wafer yang berukuran besar. Dengan penggunaan IR, kita boleh mengawal penyebaran haba dengan lebih tepat. Kita hanya perlu menyesuaikan susunan lampu agar bahagian tepi dan tengah wafer mendapat suhu yang sama. Dengan cara ini, jumlah bahan yang rosak akan berkurangan.
Tambahan pula, ruang di bilik bersih juga menjadi lebih efisien. Anda tidak perlu menggunakan kipas besar atau saluran udara yang berlebihan. Ini menjadikan sistemnya lebih efisien.
Namun, ia bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ada juga kelemahannya. Cahaya IR mempunyai arah tertentu. Udara pula boleh mengelilingi objek, tetapi cahaya IR memerlukan laluan yang jelas. Jika bentuk objek tersebut tidak sempurna atau ada bahagian yang curam, maka haba tidak akan sampai ke bahagian tersebut.
Oleh itu, anda perlu memilih sudut lampu dengan teliti. Kadang-kadang, anda perlu menggunakan alat pantul cahaya untuk mengarahkan tenaga tersebut ke bahagian yang kurang mendapat haba. Jika anda tidak berhati-hati, anda mungkin akan mencipta titik panas yang boleh merosakkan substrat tersebut. Dan tiada siapa yang ingin hal tersebut berlaku.