Elakkan Lampu Berhenti Berfungsi daripada Merosakkan Hasil Pengeluaran Anda
Dalam kilang semikonduktor yang sibuk, lampu yang rosak sudah pun merupakan masalah yang menyusahkan. Namun, keadaan akan menjadi lebih teruk jika selubung kaca tersebut pecah.
Apabila ini berlaku, serpihan tungsten dan serpihan kaca akan jatuh terus ke atas wafer tersebut. Ini merupakan situasi yang sangat buruk. Anda bukan sahaja perlu menghadapi masa henti operasi, tetapi juga risiko kontaminasi yang boleh memusnahkan keseluruhan hasil pengeluaran anda.
Cara paling mudah untuk mengelakkan ini adalah dengan meletakkan lapisan pelindung kaca di antara lampu inframerah dan wafer tersebut.
Mengapa kaca kuarsa?
Kami menggunakan kaca kuarsa berkualiti tinggi kerana ia mampu menahan tekanan yang tinggi. Lampu-lampu ini beroperasi pada intensiti tenaga yang sangat tinggi, dan habanya juga sangat kuat. Anda memerlukan bahan yang mampu menahan tekanan haba tanpa mudah pecah.
Jika anda menggunakan kaca berkualiti rendah, lapisan pelindung tersebut akan menyerap haba sehingga ia melebihi hadnya dan pecah. Dengan kaca kuarsa berkualiti tinggi, radiasi inframerah dapat meresap melaluinya tanpa diserap sepenuhnya.
Memastikan penempatan yang betul
Anggaplah lapisan pelindung ini sebagai “jaring keselamatan”. Jika lampu utama rosak, lapisan pelindung ini akan menahan semua serpihan sebelum ia sampai ke wafer.
Namun, ada satu perkara penting yang perlu diperhatikan: jarak antara lampu dan lapisan pelindung harus tepat. Jika kedua-duanya bersentuhan, akan timbul titik panas, dan keseluruhan sistem akan gagal lebih awal daripada yang sepatutnya.
Selain itu, pastikan braket pemasangan lampu tersebut kukuh. Jika ada getaran yang menyebabkan lampu bergesel dengan lapisan pelindung, ia akan menciptakan titik tekanan yang boleh menyebabkan lapisan pelindung pecah.
Kompromi yang perlu diterima
Tidak ada yang sempurna. Dengan adanya lapisan pelindung, sedikit haba akan dipantulkan atau diserap sebelum sampai ke wafer. Anda akan melihat penurunan suhu yang sedikit. Untuk mengatasi masalah ini, anda mungkin perlu meningkatkan kuasa pengawal yang digunakan atau membiarkan wafer tersebut berada dalam keadaan panas untuk waktu yang lebih lama.
Ia merupakan harga yang kecil yang perlu dibayar. Lebih mudah untuk menyesuaikan tetapan kuasa berbanding menjelaskan mengapa keseluruhan batch wafer menjadi tercemar.