Di bilik pembakaran, perubahan suhu semasa proses pembakaran tidak akan ditunjukkan melalui lampu amaran. Sebaliknya, perubahan tersebut akan ditunjukkan sebagai perubahan sebanyak 0.3% pada nilai CD, perubahan lebar garisan yang terbentuk, serta jumlah bahan yang rosak setelah tempoh pembaikan tamat. Apabila lampu dalam ketuhar menjadi usang, tetapan suhu masih boleh berfungsi dengan baik, walaupun permukaan wafer masih panas. Anda memerlukan alat ganti yang dapat mengekalkan prestasi termal yang stabil, dari satu sesi pembakaran ke sesi yang lain, dan dari satu kumpulan produk ke kumpulan produk yang lain.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kita membina alat ganti ini untuk memastikan kawalan suhu yang tepat dalam proses pembuatan semikonduktor. Komponen pemanas dapat memastikan keluaran yang stabil sepanjang masa, manakala keseragaman suhu pada permukaan wafer pula kekal dalam lingkungan ±0.1°C. Ini memastikan proses pembakaran berjalan dengan lancar, sehingga dimensi-dimensi penting pada wafer dapat dikawal dengan baik. Alat ini juga sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100. Bahan-bahan dan komponen penutup yang digunakan dipilih sedemikian rupa agar proses pembakaran tidak menghasilkan zarah-zarah yang tidak diingini.
Mengapa pendekatan ini berkesan
Dalam proses litografi dan pengolahan bahan resist, suhu merupakan faktor yang tidak boleh diperbetulkan kemudian. Kawalan suhu yang tepat akan meningkatkan hasil pengeluaran – kurangnya insiden yang merosakkan produk, kurangnya keperluan untuk membaiki produk, dan prestasi yang lebih boleh diramalkan. Ia juga meningkatkan kestabilan peralatan, sekali gus mengurangkan masa henti yang tidak dijangka akibat masalah berkaitan lampu atau perubahan suhu.
Apa yang perlu anda ketahui
Alat ganti ini sesuai digunakan pada platform peralatan OEM yang utama. Namun, proses penyelarasan dan penyambungan termal memerlukan perhatian khusus. Rancanglah penggantian alat ganti tersebut semasa kerja penyelenggaraan, dan gunakan masa tersebut untuk memeriksa keadaan kontak termokopel dan penutup pintu. Untuk hasil yang terbaik, pastikan alat ganti tersebut sesuai dengan kurva kalibrasi asal, dan periksa profil suhu pada wafer ujian sebelum melepaskan produk tersebut.