Di kilang pembuatan semikonduktor, sedikit perubahan semasa proses pengeringan sahaja sudah cukup untuk menyebabkan profil fotorezistor tidak memenuhi spesifikasi yang ditetapkan. Akibatnya, wafer tersebut perlu dibuang, dan tenaga yang digunakan menjadi sia-sia. Pembuangan tenaga ini berlaku secara berterusan akibat kitaran pemanasan yang tidak efisien serta proses penyesuaian yang diperlukan. Kami telah mencipta sistem pemanasan yang dapat menangani kedua-dua masalah ini: ia mengurangkan penggunaan tenaga sambil memastikan suhu kekal stabil untuk proses litografi.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kita memastikan keseragaman suhu pada tahap wafer berada dalam lingkungan ±0.1°C, supaya proses pemanasan dapat berjalan dengan lancar. Sistem ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100 tanpa menghasilkan sebarang zarah yang boleh merosakkan kualiti wafer. Reka bentuk pemanasnya direka untuk beroperasi 24/7, tanpa sebarang masa henti yang tidak dijangka, dengan jangka hayat melebihi 10,000 jam.
Ketepatan proses diukur secara langsung, bukan hanya diperkirakan. Setiap kali proses dijalankan, nilai suhu tetap stabil, walaupun voltan sistem berubah-ubah.
Mengapa ia berkesan di kilang sebenar
Penggunaan tenaga dapat dilihat, diukur, dan dikawal dengan mudah. Kami melakukan Audit Tenaga untuk mengetahui penggunaan tenaga untuk setiap kumpulan wafer, kemudian menyesuaikan kadar pemanasan agar haba berlebihan dapat dikurangkan tanpa menjejaskan kualiti proses. Dengan cara ini, masa proses dapat dipendekkan, kos operasi dapat dikurangkan, dan jumlah wafer yang dibuang dapat dikurangkan—tanpa perlu mengubah parameter proses fotorezistor. Hasilnya adalah kawalan dimensi yang lebih baik, serta kos yang lebih rendah untuk setiap wafer, dari bulan ke bulan.
Perkara yang perlu diketahui
Platform ini boleh disepadukan dengan mesin dan ketuhar sedia ada, tetapi ia memerlukan litar elektrik khusus serta bekalan udara bersih untuk memastikan keseragaman suhu yang diinginkan. Pastikan terdapat masa yang cukup untuk melaraskan parameter proses agar sesuai dengan keperluan fotorezistor. Setelah dikalibrasi, sistem ini akan beroperasi dengan baik, secara berterusan, dan efisien dari segi penggunaan tenaga.