방출등의 고장으로 인해 생산성이 저하되는 것을 막으세요.
바쁜 반도체 제조 공정에서 방출등이 고장나는 것만으로도 골칫거리입니다. 하지만 석영 커버가 깨지면 상황은 훨씬 더 심각해집니다.
그럴 경우, 텅스텐 조각들과 유리 파편들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 이는 정말 끔찍한 상황입니다. 단순히 생산 중단뿐만 아니라, 전체 웨이퍼의 품질도 해치게 됩니다.
이를 막는 가장 간단한 방법은 IR 램프와 작업물 사이에 석영 유리 차폐막을 설치하는 것입니다.
왜 석영인가?
우리는 고순도의 융합 석영을 사용합니다. 왜냐하면 이 재료는 엄청난 열을 견딜 수 있기 때문입니다. 이러한 램프들은 매우 높은 와트수로 작동하기 때문에 열도 매우 강합니다. 따라서 열충격을 견딜 수 있는 재료가 필요합니다.
저품질의 유리를 사용한다면, 차폐막이 열을 흡수하여 결국 과열되어 깨져버릴 것입니다. 그러면 다시 처음으로 돌아가는 셈입니다. 고순도 석영은 짧은 파장의 적외선을 너무 많이 흡수하지 않으면서도 통과시켜줍니다.
적절한 설치 방법
차폐막을 안전망으로 생각해보세요. 만약 주 램프가 고장 나면, 차폐막이 모든 파편들을 웨이퍼에 닿기 전에 가로챕니다.
하지만 주의할 점이 있습니다. 램프와 차폐막 사이의 간격이 중요합니다. 두 가지가 서로 닿으면 과열이 발생하여 전체 시스템이 더 빨리 고장날 수 있습니다.
또한, 장착 브래킷도 반드시 튼튼해야 합니다. 램프가 차폐막에 부딪힐 수 있는 진동이 있다면, 균열이 생길 수 있습니다.
타협점
모든 것이 완벽할 수는 없습니다. 차폐막을 추가하면, 일부 열이 웨이퍼에 도달하기 전에 반사되거나 흡수됩니다. 그로 인해 열이 약간 줄어들 수 있습니다. 이를 해결하고 공정을 정상적으로 유지하려면, 컨트롤러의 출력을 조절하거나 웨이퍼를 조금 더 오래 노출시켜야 할 수도 있습니다.
이는 작은 대가일 뿐입니다. 전체 웨이퍼가 오염된 원인을 설명하는 것보다는 출력 설정을 조절하는 것이 훨씬 쉽습니다.