화학 처리 구역에서 적외선 열을 사용할 때 안전을 유지하는 방법
만약 팹의 클린룸을 업그레이드한다면, 특히 화학적 세척 시스템을 업그레이드할 경우, 그 위험성을 잘 알고 있을 것입니다. 여기서는 휘발성 용매와 인화성 기체들을 다루게 되는데, 이러한 환경에서는 일반적인 적외선 램프는 단순한 도구가 아니라 오히려 위험 요소가 됩니다. 석영관에 작은 스파크나 균열이 생기기만 해도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다.
우리는 그런 위험을 감수하고 싶지 않습니다. 그래서 우리는 개방형 가열 방식을 사용하지 않고 밀폐된 구조를 사용합니다.
밀폐 구조가 어떻게 작동하는가
우리는 단순히 램프를 플라스틱으로 감싸는 것으로는 안 됩니다. 우리는 이중 차단 시스템을 사용합니다. 먼저, 적외선 발생기는 고순도 석영관 안에 위치합니다. 그런 다음 그 전체 구조를 화학물질에 견디고 폭발을 방지할 수 있는 외부 커버로 감싸줍니다. 끝부분은 산업용 에폭시나 특수 가스켓으로 밀봉됩니다.
이렇게 하면 내부 램프가 고장 나거나 석영관에 균열이 생겨도 외부 커버는 그대로 유지됩니다. 그 결과, 인화성 기체들이 전기 부품으로부터 멀리 떨어져 있게 됩니다.
열과 안정성 문제
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 램프가 밀폐되어 있기 때문에, 일반적인 램프에서 나오는 직접적인 복사열이 줄어듭니다. 이를 해결하기 위해 우리는 와트수를 조절합니다. 그래야만 기판이 필요한 정확한 온도에 도달할 수 있으면서도 외부 케이스가 오븐처럼 되는 것을 방지할 수 있습니다.
또한, 적절한 냉각 공기 흐름도 중요합니다. 만약 케이스를 환기시키지 않거나 히트싱크를 사용하지 않으면, 열이 밀폐된 곳에 계속 축적됩니다. 시간이 지나면 그로 인해 밀봉제가 손상될 수 있습니다. 이런 상황은 피해야 합니다.
팹에 설치하는 방법
우리는 이 제품들을 그대로 교체할 수 있도록 설계했습니다. 전체 시스템을 다시 구축할 필요가 없습니다. 배선은 난연성 튜브를 통해 이루어지며, 연결 부분에는 폭발 방지 장치가 있어서 전기적 단락 위험을 줄여줍니다.
또한, 금이나 니켈로 도금된 접점을 사용합니다. 왜냐하면 세척 과정에서 발생하는 강한 화학 물질들이 모든 것을 부식시킬 수 있기 때문입니다. 이러한 도금 처리를 통해 저항값을 낮추고 열 출력을 안정적으로 유지할 수 있습니다. 간단히 말해, 이 방식이 가장 효과적입니다.