열을 낭비하지 마세요: 금 도금된 반사체가 왜 중요한지
실리콘 웨이퍼를 가열할 때는, 1와트라도 소중합니다.
대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄이나 광택 처리된 강철로 만들어진 케이스를 사용하지만, 문제는 이러한 재료들이 너무 많은 에너지를 흡수한다는 것입니다. 결국 에너지는 기계의 구조물 안으로 사라져버리고, 실제로 웨이퍼를 가열하는 데는 사용되지 않습니다.
그래서 우리는 금을 사용합니다. 듣기에는 화려해 보일 수 있지만, 사실은 매우 실용적인 선택입니다. 금은 적외선 열을 다시 웨이퍼 쪽으로 반사하는 데 가장 효과적입니다.
핵심은 정확한 초점 설정입니다.
히터 램프를 생각해보세요. 램프는 에너지를 모든 방향으로 방출합니다. 적절한 형태의 케이스가 없다면, 에너지의 절반이 낭비됩니다.
우리는 고품질의 스테인리스 스틸을 사용하여 그 형태를 정확하게 만든 뒤, 그 위에 금 층을 추가합니다. 이렇게 하면 광자들이 제대로된 곳으로만 전달됩니다. 그 결과, 열 분포가 훨씬 더 정확해지고, 가열 시간도 훨씬 줄어듭니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
금을 도포할 때는 진공 증착 방식을 사용합니다. 왜냐하면 그냥 페인트로 칠하면, 열이 가해지면 금이 벗겨지거나 부서질 수 있기 때문입니다. 이 방식을 사용하면 모든 가열 주기 동안 금이 그 자리에 그대로 남아 있습니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 이 방식은 매우 효율적이기 때문에, PID 컨트롤러가 혼란스러워질 수 있습니다. 만약 이러한 상황에 맞게 조정되지 않으면, 온도가 너무 높아져 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 그러니 설정값을 잘 확인해야 합니다.
설치 방법
가장 좋은 점은, 이러한 반사체들이 기존의 IR 장비를 대체할 수 있다는 것입니다.
우리는 반사체의 형태를 세심하게 조절하여, 웨이퍼 전체에 불필요한 차가운 부분이 생기지 않도록 합니다. 같은 표면 온도를 유지해도 전력 비용이 줄어듭니다.
마지막으로, 냉각 팬도 잘 확인해야 합니다. 열이 집중되기 때문에, 램프의 끝부분이 매우 뜨거워질 수 있습니다. 그래서 충분한 공기 흐름이 있도록 해야 합니다.