
Fermate le vostre lampade a infrarossi dall’indurre danni ai wafer
Eseguire cicli di produzione ad alta intensità è estremamente nocivo per le lampade a riscaldamento a infrarossi: queste subiscono gravi danni. Quando una lampada finalmente si rompe – o peggio ancora esplode all’interno della camera di riscaldamento – diventa un vero disastro. Si finisce con frammenti di quarzo e detriti dappertutto. Questo non solo distrugge il wafer su cui si sta lavorando, ma rovina anche l’intera giornata di lavoro, poiché bisogna interrompere l’intera linea di produzione per poter pulire tutto.
Affrontare il problema delle rotture
Il vero nemico è lo shock termico. Se la guaina in quarzo presenta piccole impurità o se le pareti non sono perfettamente uniformi, il calore fa sì che il vetro si espanda in modo disomogeneo. È così che si creano delle crepe. Noi utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza: esso si espande in modo uniforme, quindi può resistere a cicli di funzionamento intensi senza rompersi.
Ma siamo sinceri: le lampade possono comunque rompersi. Ecco perché mettiamo una sorta di “guscio protettivo” attorno alla lampada. Può essere considerato una sorta di rete di sicurezza: se la lampada interna si rompe, i detriti rimangono intrappolati all’interno del guscio. Il silicio rimane pulito e non c’è bisogno di panico.
Per una durata maggiore
Per mantenere stabile il funzionamento della lampada, utilizziamo filamenti a ciclo allogenico. Questo evita che il tungsteno si evapori e sporchi le pareti interne, garantendo così una temperatura costante per migliaia di ore. Utilizziamo anche capi terminali rinforzati: se gas fuoriescono dalla lampada, questa si brucia prematuramente.
Un consiglio utile: fate attenzione all’alimentazione elettrica della lampada. È tentante aumentare la tensione per ottenere tempi di accensione più rapidi, ma è un rischio inutile. In questo modo il filamento si usurpa molto più velocemente e aumenta le possibilità che la lampada si rompa.
I compromessi da accettare
L’aspetto negativo è che l’uso di questo guscio protettivo riduce leggermente la trasmissione degli infrarossi. Si perde quindi una piccola quantità di calore diretto. Non è un problema insormontabile, ma è necessario regolare alcune impostazioni. Potreste aumentare la potenza della lampada o avvicinarla ulteriormente al wafer. Assicuratevi però che i ventilatori di raffreddamento siano in grado di gestire il calore in più, altrimenti rischiate che il supporto della lampada si deformi.