Mantenere la sicurezza durante la essiccazione delle wafer MEMS
La realtà è questa: essiccare le wafer dei sensori MEMS dopo una pulizia chimica è come giocare con il fuoco. I elementi riscaldanti si trovano infatti proprio accanto a vapori infiammabili ed esplosivi. Se si cerca di utilizzare una lampada a infrarossi standard per questo scopo, si rischia grosso.
Ecco perché progettiamo i nostri riscaldatori a infrarossi in modo diverso: li avvolgiamo in un involucro specializzato che impedisce ai prodotti chimici di danneggiare i filamenti e, cosa ancora più importante, previene l’incendio.
Il segreto sta nella chiusura ermetica. Utilizziamo un guscio di quarzo ermeticamente sigillato, nonché rivestimenti resistenti agli agenti chimici aggressivi. L’obiettivo è mantenere i contatti elettrici completamente isolati dall’aria. Utilizziamo sigilli realizzati con resine epoxiche di alta qualità o materiali in vetro-metallo, in modo che i composti organici volatili non possano entrare all’interno della lampada.
Pensateci così: se la chiusura dovesse rompersi e un filamento dovesse bruciare, quella piccola scintilla potrebbe innescare un incendio. Abbiamo progettato il processo di sigillaggio in modo da evitare che ciò accada.
Equilibrio tra calore e sicurezza
Questi riscaldatori emettono radiazioni a lunghezza d’onda corta ad alta intensità, permettendo così l’essiccazione rapida delle wafer senza danneggiare il substrato. È un equilibrio delicato: regoliamo l’intensità del calore in modo che la temperatura superficiale rimanga al di sotto del punto di combustione dei vapori chimici.
Ottenete quindi un’evaporazione rapida, ma è necessario prestare attenzione al flusso d’aria. Queste lampade generano molto calore; se il sistema di ventilazione funziona male, il calore si accumula nella camera di essiccazione, e questo rappresenta un rischio.
Nessun problema durante la manutenzione
Non volevamo che doveste trascorrere ore a riparare questi dispositivi, perciò li abbiamo progettati in modo che possano essere sostituiti facilmente. I cavi utilizzati sono adatti a zone pericolose, grazie a un isolamento rinforzato che non si rompe nemmeno dopo centinaia di cicli di riscaldamento. Inoltre, abbiamo eliminato i connettori fragili che con il tempo diventano instabili. Al loro posto utilizziamo connessioni sicure e resistenti alle vibrazioni. In questo modo, il rischio di scariche elettriche viene eliminato completamente. Quando è il momento di sostituire la lampada, basta semplicemente sostituirla, stringere i collegamenti e il sistema torna a funzionare normalmente. Niente cablaggi complicati, niente problemi.