Arrêtez de gaspiller du temps à chauffer l’air !
Si vous avez déjà travaillé avec des systèmes de circulation d’air chaud dans le traitement des semi-conducteurs, vous connaissez bien cette frustration : c’est lent. En fait, il faut attendre que tout le four soit chaud avant que la pièce à traiter ne ressente quoi que ce soit. C’est comme essayer de réchauffer une pièce avec un radiateur avant même de pouvoir commencer à cuisiner.
Nous faisons les choses différemment. Nous utilisons des lampes infrarouges associées à des réflecteurs en aluminium. Au lieu de chauffer l’air, la chaleur est directement transmise au matériau à traiter.
Pourquoi l’aluminium est important
Pensez à une lampe infrarouge seule : la moitié de la chaleur est simplement renvoyée vers le châssis de la machine. C’est une perte totale d’énergie. C’est là que l’aluminium de haute pureté entre en jeu. Il agit comme un miroir pour les photons, renvoyant toute cette énergie vers le substrat. Comme l’aluminium gère très bien les longueurs d’onde courtes et moyennes, on obtient un profil de chaleur beaucoup plus précis. La chaleur est transmise rapidement et efficacement.
Réduire le temps d’attente
Les systèmes à air chaud ont une grande inertie thermique – en d’autres termes, il leur faut beaucoup de temps pour se stabiliser. Avec les lampes infrarouges, c’est complètement différent : c’est quasi immédiat. Lorsque vous utilisez des réflecteurs appropriés, vous n’avez plus à attendre que le système se stabilise. Les temps de traitement par wafer diminuent, car vous vous concentrez sur la pièce à traiter, et non sur l’atmosphère qui l’entoure.
Les limites
Ce n’est pas de la magie. L’aluminium à haute réflexivité est excellent, mais il est un peu sensible. Si vous travaillez dans un environnement chimique difficile ou sous des températures extrêmes, la surface peut s’oxyder. Une fois cela arrivé, la réflexivité diminue. La poussière et les résidus sont alors les vrais ennemis ; si les réflecteurs se salissent, l’efficacité diminue et la distribution de la chaleur devient désordonnée. Gardez-les propres, et ils continueront à fonctionner correctement.
Pour la plupart des lignes de production de semi-conducteurs, c’est la solution idéale. Cela permet d’économiser beaucoup d’espace et d’éviter l’ennui lié à l’attente que le four convectif se stabilise. Un conseil : assurez-vous que vos ventilateurs de refroidissement puissent gérer la chaleur restante qui ne touche pas la pièce à traiter. Vous ne voulez certainement pas endommager vos équipements électroniques en essayant de traiter une puce.