Évitez que l’effondrement des lampes ne ruine votre productivité
Dans une usine de semi-conducteurs très active, le fait qu’une lampe cesse de fonctionner est déjà un problème. Mais les choses deviennent encore pires si l’enveloppe en quartz se brise. Dans ce cas, des fragments de tungstène et des éclats de verre tombent directement sur les wafer. C’est vraiment un cauchemar. Vous ne devez pas seulement faire face à des arrêts de production, mais aussi à une contamination secondaire qui peut annuler toute votre production.
La solution la plus simple ? Mettre un bouclier en verre de quartz entre la lampe infrarouge et les wafer.
Pourquoi du quartz ?
Nous utilisons du quartz fusionné de haute pureté, car il peut résister à de fortes températures. Ces lampes fonctionnent à des puissances extrêmement élevées, ce qui génère beaucoup de chaleur. Il est donc nécessaire d’utiliser un matériau capable de résister aux chocs thermiques sans se briser. Si vous utilisez du verre de qualité inférieure, le bouclier absorbera toute la chaleur jusqu’à ce qu’il se brise. Alors, vous retomberez au point de départ. Le quartz de haute pureté permet à les rayonnements infrarouges de passer à travers lui, sans qu’il en absorbe trop.
Assurer un bon ajustement
Pensez au bouclier comme à un filet de sécurité. Si la lampe principale tombe en panne, le bouclier capture tous les débris avant qu’ils n’atteignent les wafer.
Mais il y a un problème : l’écart entre la lampe et le bouclier est important. Nous veillons à ce qu’il y ait un espace précis entre eux. Si ils se touchent, des points chauds se forment, et tout cesse de fonctionner bien plus tôt que prévu.
Vérifiez également les supports de fixation. Assurez-vous qu’ils soient solides. Si des vibrations permettent à la lampe de heurter le bouclier, cela crée des points de tension qui peuvent provoquer des fissures.
Le compromis
Rien n’est parfait. En ajoutant un bouclier, une petite partie de la chaleur radiante est reflétée ou absorbée avant d’atteindre les wafer. Vous remarquerez donc une légère baisse de température. Pour corriger cela et maintenir le processus en marche, vous devrez peut-être augmenter la puissance du contrôleur ou laisser les wafer reposer un peu plus longtemps.
C’est un petit prix à payer. Il est beaucoup plus facile de modifier les paramètres de puissance que d’expliquer pourquoi toute une série de wafer est contaminée.