Comment maintenir vos wafer propres : La vérité sur les lampes infrarouges sans ozone
Dans une usine de production de semi-conducteurs à grande échelle, une panne de lampe représente un vrai cauchemar. Il ne s’agit pas seulement du temps d’arrêt lié à cette panne. Si le tube en quartz se brise au-dessus d’un wafer en silicium, cela entraîne des éclats de verre et des résidus chimiques partout. C’est un désastre total, et cela affecte directement la qualité des produits fabriqués.
Nous avons conçu nos lampes infrarouges sans ozone justement pour éviter ce genre de problème.
Le problème de l’ozone
La plupart des lampes infrarouges standard émettent des rayonnements dans la plage de 185 nm à 254 nm. Le problème, c’est que ces rayonnements réagissent avec l’oxygène pour former de l’ozone. En environnement propre, l’ozone est un agent corrosif très dangereux.
Pour résoudre ce problème, nous utilisons des filaments dopés ainsi que du quartz spécialisé. Cela permet de déplacer le spectre lumineux de manière à ce que les longueurs d’onde responsables de la formation d’ozone ne soient plus présentes. Vous obtenez donc toute la chaleur nécessaire pour le traitement, sans les effets corrosifs néfastes.
Éviter les ruptures
La plupart des tubes se brisent à cause du choc thermique – en d’autres termes, ils ne peuvent pas supporter les fluctuations rapides de température. Nous utilisons donc du quartz synthétique de haute pureté. Son taux d’expansion est très faible, ce qui lui permet de résister aux variations de température sans se briser. Mais nous n’en restons pas là : nous ajoutons également une gaine protectrice qui agit comme un filet de sécurité. Si le quartz se brise, cette gaine permet de maintenir tout en place, évitant ainsi que les débris ne tombent sur les wafer.
Un mot sur la chaleur
Quand on fait passer une forte puissance électrique à travers un espace restreint, les supports des lampes en subissent les conséquences. Nos lampes sont conçues pour supporter de fortes charges, mais il est essentiel que les systèmes de refroidissement soient suffisamment performants. Si le flux d’air est insuffisant, les culots se surchaufferont et les joints céderont. C’est un problème de physique simple, mais c’est justement là que beaucoup de gens font des erreurs.
En mettant l’accent sur la pureté du quartz et sur les propriétés physiques de ses enveloppes, nous avons réussi à réduire la production de particules. Ainsi, vos lampes restent intactes, même lorsqu’elles sont soumises à de fortes contraintes.