Sur le plateau de lithographie, une variation de 2 °C dans la température de séchage du photo-résistant suffit pour que les dimensions critiques changent de quelques nanomètres, ce qui peut rendre de nombreuses wafer inutilisables. La lampe à infrarouges R7s a été conçue pour maintenir une température constante à l’intérieur de la zone ciblée, sans que cette température ne varie dans toute la pièce.
Ce qui est important La lampe R7s émet des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, ce qui permet de transmettre directement la chaleur au photo-résistant et au substrat. La température cible est atteinte rapidement et reste stable. Sur toute la surface de séchage, l’uniformité de la température est de ±0,1 °C, ce qui garantit des résultats répétables, lot après lot.
L’enveloppe en quartz et la disposition des filaments internes ont été conçus de manière à éviter toute augmentation soudaine du nombre de particules lors de l’augmentation de la température. Dans des salles propres de classe 1–100, cela permet de maintenir un nombre de particules constant. De plus, on peut compter sur une stabilité de performance sur plus de 5 000 heures, avec une baisse de moins de 5 % – ce qui signifie que l’appareil peut fonctionner 24/7 sans nécessiter de recalibration constante.
Pourquoi c’est adapté au processus de lithographie La lithographie repose sur un contrôle strict de la température. Un séchage excessif fait sortir les solvants et modifie la viscosité du matériau. Un séchage insuffisant entraîne la formation de bulles aux bords, ce qui empêche une bonne couche de se former. Avec la lampe R7s, on peut contrôler plus précisément la température et le temps de séchage, ce qui permet d’obtenir des résultats constants, lot après lot.
Cette répétabilité réduit les retraites, améliore le taux de réussite et abrège le temps de cycle. De plus, on consomme moins d’énergie, car la réponse de la lampe est rapide et les pertes sont faibles. Enfin, la longue durée de vie de la lampe signifie moins de remplacements et moins d’arrêts de production.
À garder à l’esprit La lampe R7s est conçue pour être utilisée avec des supports standard, mais l’équipement doit correspondre : la géométrie du réflecteur et le flux d’air doivent être adaptés au profil thermique de la lampe afin de maintenir une uniformité de ±0,1 °C. Il y a une courte période d’amorçage avant que la température cible ne soit atteinte ; il faut donc synchroniser cela avec la séquence de fonctionnement du système de revêtement.
Pour des résultats optimaux, combinez la lampe avec un capteur de température calibré et un contrôleur capable de compenser les variations de tension électrique.