Obtenir plus de chaleur à partir de vos réflecteurs infrarouges (sans effort supplémentaire)
Si vous avez déjà travaillé avec des stations de lavage de wafer en semiconducteurs, vous savez à quel point c’est difficile. L’eau est comme un éponge thermique : elle absorbe l’énergie provenant du wafer bien plus rapidement que vous ne pouvez la y injecter. Pour réussir, il faut donc utiliser un système infrarouge capable d’envoyer autant d’énergie que possible sur la surface du wafer, avant que l’environnement ne s’en empare.
La plupart des gens utilisent des réflecteurs en aluminium. Ce sont de bons choix, mais ils ne sont pas assez efficaces. Ils absorbent trop d’énergie, ce qui revient à gaspiller de l’énergie inutilement. C’est pourquoi nous utilisons de l’or.
Pourquoi l’or ?
Cela peut sembler exotique, mais c’est en réalité un choix pratique. Dans le spectre infrarouge proche, l’or reflète beaucoup plus d’énergie que l’acier poli ou l’aluminium. Nous appliquons une couche fine et précise d’or sur la surface du dispositif, afin de capturer les rayonnements qui s’échappent normalement et de les renvoyer là où ils doivent être. Ainsi, la lumière dispersée devient un faisceau concentré. Chaque watt émis par la lampe atteint donc vraiment le wafer.
Plus de chaleur, moins d’énergie
Le meilleur côté, c’est que nous adaptons la puissance de la lampe à la capacité de réflexion maximale de l’or. Cela permet d’obtenir une densité thermique beaucoup plus élevée, sans avoir besoin d’une puissance supplémentaire. Vous pouvez ainsi conserver un équipement compact. Si vous essayiez d’atteindre les mêmes températures avec des réflecteurs ordinaires, vous seriez obligé d’augmenter la puissance de la lampe. Et nous savons tous ce qui se passe alors : il y a un risque de brûler les filaments ou de faire fondre le boîtier de la lampe.
Quelques points à garder à l’esprit
L’or est indeed excellent pour générer de la chaleur, mais il est très doux. Il est impossible d’utiliser des produits abrasifs ou des produits chimiques agressifs pour le nettoyer. Si vous abîmez cette couche, vous risquez d’avoir des zones froides sur le wafer, ce qui est très difficile à corriger. Il suffit donc de suivre une routine de nettoyage douce pour maintenir une surface parfaite.
Le meilleur aspect, c’est que ces réflecteurs peuvent être utilisés directement en remplacement des anciens. Il suffit de les connecter aux contrôleurs existants. Vous verrez que le wafer atteint sa température cible beaucoup plus rapidement.
Un dernier conseil : étant donné que la chaleur est très concentrée, assurez-vous que vos ventilateurs de refroidissement sont capables de gérer la chaleur générée autour des extrémités de la lampe.