Préserver la sécurité lors du séchage des wafer MEMS
La réalité est la suivante : sécher les wafer de capteurs MEMS après un nettoyage chimique, c’est un peu comme jouer avec du feu. On a des éléments chauffants situés juste à côté de vapeurs inflammables et explosives. Si l’on essaie d’utiliser une lampe infrarouge ordinaire pour ce faire, on s’expose à des problèmes sérieux.
C’est pourquoi nous concevons nos chauffeurs infrarouges de manière différente. Nous les enveloppons dans un revêtement spécial qui empêche les produits chimiques d’endommager le filament. Plus important encore, ce revêtement empêche tout risque d’incendie.
Le secret réside dans le scellement.
Nous utilisons des enveloppes en quartz hermétiquement scellées, ainsi que des revêtements résistants aux produits chimiques agressifs. L’objectif est de maintenir les contacts électriques complètement isolés de l’air. Nous utilisons également des joints en époxy ou en verre-métal de haute qualité au niveau des connexions, afin que les composés organiques volatils ne puissent pas pénétrer dans la carcasse de la lampe.
Imaginez : si le scellement échoue et que le filament brûle, cette petite étincelle pourrait déclencher un incendie. Nous avons conçu le processus de scellement pour éviter que cela ne se produise jamais.
Équilibrer chaleur et sécurité
Ces chauffeurs émettent une radiation de haute intensité pour sécher rapidement les wafer, sans détruire le substrat. C’est un équilibre délicat. Nous ajustons la puissance afin que la température de surface reste en dessous du point d’inflammation des vapeurs chimiques. Ainsi, vous obtenez une évaporation rapide, mais il est nécessaire de veiller au flux d’air. Ces lampes chauffent beaucoup ; si le système de ventilation ralentit, la chaleur s’accumule dans la chambre, ce qui représente un risque.
Aucun problème lors de la maintenance
Nous ne voulions pas que vous passiez des heures à effectuer des réparations. C’est pourquoi nous avons conçu ces unités de manière à pouvoir être remplacées facilement. Les câbles sont conçus pour fonctionner dans des zones dangereuses, avec un isolant renforcé qui ne se fissure ni ne s’use après quelques centaines de cycles de chauffage. De plus, nous avons abandonné les connecteurs fragiles qui se détachent avec le temps. Au lieu de cela, nous utilisons des terminaisons solides et résistantes aux vibrations. Cela évite tout risque d’étincelles électriques. Lorsqu’il est temps de remplacer la lampe, il suffit de la remplacer, de serrer les connexions, et le système fonctionne à nouveau. Pas de travaux complexes, pas de problèmes.