جلوگیری از خراب شدن لامپها و نابودی محصولات تولیدی
در یک کارخانه تولید تراشههای پیچیده، خراب شدن یک لامپ مشکل بزرگی است؛ اما وقتی که غلاف کوارتزی لامپ نیز پاره شود، اوضاع حتی بدتر میشود. در چنین شرایطی، تکههای تنگستن و قطعات شیشهای مستقیماً روی ویفرها میافتند. این وضعیت واقعاً فاجعهبار است؛ چرا که علاوه بر توقف فرآیند تولید، آلودگیهای ناشی از آن باعث نابودی کل محصولات تولیدی میشود.
سادهترین راه برای جلوگیری از این مشکل، استفاده از یک سپر شیشهای کوارتزی بین لامپ IR و ویفرهاست.
چرا کوارتز؟
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده میتواند در برابر تنشهای حرارتی مقاومت کند. این لامپها با توان بسیار بالایی کار میکنند و گرمای تولید شده نیز بسیار زیاد است. بنابراین نیاز به مادهای وجود دارد که بتواند در برابر این تنشها مقاومت کند.
اگر از شیشههای با کیفیت پایینتر استفاده کنید، سپر شیشهای گرمای تولید شده را جذب خواهد کرد و در نهایت خراب خواهد شد. در این صورت دوباره به همان وضعیت اولیه برمیگردیم. کوارتز با خلوص بالا اجازه میدهد که تشعشعات مادون قرمز از میان آن عبور کنند، بدون اینکه مقدار زیادی از آن جذب شود.
تنظیم صحیح فاصله بین لامپ و سپر
میتوانید از سپر شیشهای به عنوان یک محافظ استفاده کنید؛ در صورت خراب شدن لامپ، سپر تمام ذرات ناشی از خرابی لامپ را جذب خواهد کرد.
اما یک مشکل وجود دارد: فاصله بین لامپ و سپر بسیار مهم است. باید اطمینان حاصل کنیم که فاصله مناسبی بین آنها وجود داشته باشد. اگر لامپ و سپر با هم تماس پیدا کنند، نقاط داغی ایجاد شده و کل سیستم زودتر از حد معمول خراب خواهد شد.
همچنین، باید از مهارههای مونتاژ لامپ نیز مطمئن شوید؛ اگر لرزشی باعث شود لامپ به سپر برخورد کند، نقاط فشاری ایجاد خواهد شد که منجر به خرابی سیستم خواهد شد.
تعادل بین مزایا و معایب
هیچ چیز کامل نیست؛ استفاده از سپر شیشهای باعث میشود که مقدار کمی از گرمای تولید شده منعکس یا جذب شود، قبل از اینکه به ویفرها برسد.
شما ممکن است کاهش ملایمی در دمای ویفرها مشاهده کنید؛ برای جبران این مشکل و حفظ روند تولید، ممکن است لازم باشد توان کنترلکننده را افزایش دهید یا اجازه دهید ویفرها مدت بیشتری در معرض گرما قرار بگیرند.
این یک قیمت کوچک برای جلوگیری از خرابی محصولات تولیدی است؛ تنظیم توان کنترلکننده بسیار آسانتر از توضیح دلیل آلودگی کل محصولات تولیدی است.