حفظ تمیزی ویفرها: حقیقت درباره لامپهای مادون قرمز بدون ازن
در کارخانههای تولید نیمههادی با ظرفیت بالا، خرابی لامپ یک فاجعه است. مشکل فقط مربوط به توقف عملکرد دستگاه نیست؛ اگر لوله کوارتز روی ویفر سیلیکونی پاره شود، تکههای شیشه و باقیماندههای شیمیایی در همه جا پخش خواهند شد. این وضعیت کاملاً آشفتهکننده است و باعث کاهش نرخ تولید میشود.
ما لامپهای مادون قرمز بدون ازن را به گونهای طراحی کردهایم که از وقوع چنین مشکلاتی جلوگیری کنند.
مشکل ازن
اکثر لامپهای مادون قرمز استاندارد، تابشی در بازه ۱۸۵ نانومتر تا ۲۵۴ نانومتر تولید میکنند. مشکل اینجاست که این تابش با اکسیژن واکنش داده و ازن تولید میکند. در اتاقهای تمیز، ازن یک عامل خورنده برای تجهیزات است.
برای حل این مشکل، از فیلامنتهای ویژه و کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود طول موجهایی که منجر به تولید ازن میشوند، وجود نداشته باشند. شما همچنان گرمای لازم برای تولید را خواهید داشت، اما بدون اینکه اثرات خورندگی بر تجهیزات شما اثر بگذارد.
جلوگیری از شکستن لولهها
اکثر لولهها به دلیل شوک حرارتی پاره میشوند؛ یعنی نمیتوانند تغییرات ناگهانی دما را تحمل کنند.
ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این کوارتز دارای نرخ انبساط بسیار کمی است، بنابراین میتواند در برابر تغییرات دما مقاومت کند. اما ما فقط به همین موضوع اکتفا نکردیم؛ یک پوشش محافظتی نیز اضافه کردیم تا در صورت شکستن کوارتز، تکههای آن از روی ویفرها پایین نیفتند.
نکتهای درباره گرما
وقتی که توان بالایی از طریق فضای کوچکی اعمال میشود، لامپها تحت فشار قرار میگیرند. لامپهای ما برای بارهای سنگین طراحی شدهاند، اما باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با این فشار باشد. اگر جریان هوا ضعیف باشد، قسمتهای بیرونی لامپ دچار گرمای بیش از حد خواهند شد و در نتیجه اتصالات لامپ از بین خواهند رفت. این یک مسئله فیزیکی ساده است، اما بسیاری از افراد در این زمینه مشکل دارند.
با توجه به خلوص کوارتز و قوانین فیزیکی، ما توانستهایم میزان تولید ذرات مضر را کاهش دهیم؛ این کار باعث میشود لامپها حتی در شرایط سخت نیز سالم بمانند.