Hören Sie auf, Zeit mit der Erwärmung der Luft zu verschwenden!
Wenn Sie bereits Erfahrung mit der Verwendung von Heißluft in der Halbleiterfertigung haben, wissen Sie, wie frustrierend das ist. Es dauert ewig, bis der ganze Ofen heiß genug ist – bis die Werkstücke überhaupt eine Wirkung spüren können. Es ist, als würde man versuchen, einen Raum mit einem Heizgerät aufzuwärmen, bevor man wirklich mit dem Kochen beginnen kann.
Wir machen es anders. Wir verwenden IR-Lampen in Kombination mit Aluminiumreflektoren. Anstatt die Luft zu erwärmen, gelangt die Wärme direkt in das Material.
Warum Aluminium wichtig ist
Stellen Sie sich eine IR-Lampe allein vor: Die Hälfte der Wärme geht einfach zurück ins Gerätegehäuse. Das ist pure Verschwendung.
Deshalb kommt das hochreine Aluminium ins Spiel. Es fungiert wie ein Spiegel für Photonen – es lenkt all die Energie wieder zurück auf das Substrat. Da Aluminium kurzwellige und mittelwellige Strahlen sehr gut reflektiert, entsteht ein viel präziseres Wärmeprofil. Die Wärme wirkt also gezielt und schnell.
Die Wartezeit verkürzen
Heißluftsysteme haben eine enorme „thermische Trägheit“ – das bedeutet, sie brauchen lange, bis sie stabil sind.
IR-Systeme hingegen funktionieren fast sofort. Wenn man eine IR-Anordnung mit den richtigen Reflektoren verwendet, muss man nicht mehr so lange warten. Die Bearbeitungszeit pro Wafer verringert sich, denn man konzentriert sich auf das Teil selbst, nicht auf die Umgebungsluft.
Der Haken
Es ist zwar keine Magie – aber hochreflektierendes Aluminium ist zwar großartig, doch es ist etwas empfindlich. In einer aggressiven chemischen Umgebung oder bei extremen Temperaturen kann die Oberfläche oxidieren. Sobald das passiert, sinkt die Reflektionsfähigkeit. Staub und Ablagerungen sind die wahren Feinde hier – wenn die Reflektoren schmutzig werden, sinkt die Effizienz und die Wärmeverteilung wird ungleichmäßig.
Halten Sie die Reflektoren sauber, dann funktionieren sie weiterhin einwandfrei.
Für die meisten Halbleiterfabriken ist das die beste Lösung. Dadurch wird viel Platz gespart – und die langwierige Wartezeit auf einen konventionellen Ofen entfällt. Nur eines sollte beachtet werden: Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühllüfter die übrige Wärme bewältigen können. Man möchte schließlich nicht versehentlich seine eigenen Elektronikkomponenten zerstören, während man versucht, eine Wafer zu bearbeiten.