Mehr Wärme aus Ihren IR-Reflektoren erhalten – ohne viel Mühe
Wenn Sie schon einmal mit Anlagen zum Waschen von Halbleiterwafern gearbeitet haben, wissen Sie, welche Herausforderungen damit verbunden sind. Wasser ist eine Art „Wärmeschwamm“: Es saugt die Energie von der Waferoberfläche schneller auf, als man sie wieder zuführen kann. Um die Arbeit effektiv erledigen zu können, braucht man ein IR-System, das so viel Energie wie möglich auf die Waferoberfläche abgibt, bevor die Umgebung diese Energie wieder aufnimmt.
Die meisten Menschen verwenden Aluminium-Reflektoren. Die sind zwar in Ordnung, doch sie sind undicht. Sie absorbieren zu viel Energie – das bedeutet im Grunde, dass man Energie einfach verschwendet. Deshalb verwenden wir Gold.
Warum Gold?
Es klingt vielleicht spektakulär, aber es handelt sich dabei um eine praktische Wahl. Im Nahinfrarotbereich reflektiert Gold deutlich mehr Energie als poliertes Stahl oder Aluminium. Wir tragen eine dünne, präzise Schicht Gold auf die Oberfläche auf, damit die Strahlung, die sonst entweicht, wieder zurückreflektiert wird. Dadurch wird das zerstreute Licht in einen stark fokussierten Strahl umgewandelt. Jeder Watt der Lampe gelangt somit tatsächlich auf die Waferoberfläche.
Mehr Wärme – weniger Energiebedarf
Das Tolle daran: Wir passen die Leistung der Lampe der Höchstreflexionsfähigkeit des Golds an. Dadurch erhält man eine viel höhere Wärmeteilchung – ohne dabei mehr Energie aus der Steckdose ziehen zu müssen. Dadurch bleiben die Geräte klein und kompakt. Wenn man versuchen würde, mit herkömmlichen Reflektoren dieselben Temperaturen zu erreichen, müsste man die Leistung der Lampe erhöhen. Und wir alle wissen, was dann passiert: Man riskiert, dass die Glühfäden beschädigt werden oder der Gehäusekörper schmilzt.
Ein paar Dinge, die man beachten sollte
Gold ist zwar hervorragend für die Wärmeabgabe, doch es ist sehr weich. Man darf keine abrasiven Mittel oder starke Chemikalien verwenden, um die Oberfläche zu reinigen. Wenn man die Schicht beschädigt, entstehen „kalte Stellen“ auf der Waferoberfläche – das ist äußerst schwierig zu beheben. Bauen Sie daher lieber eine sanfte Reinigungsmethode ein, um die perfekte Spiegeloberfläche zu bewahren.
Das Beste daran ist, dass diese Reflektoren als Ersatzteile verwendet werden können. Man muss sie einfach in die vorhandenen Steuergeräte anschließen – und schon funktioniert alles. Man wird feststellen, dass die Waferoberfläche viel schneller die gewünschte Temperatur erreicht.
Eine Warnung: Da die Wärme so konzentriert wird, sollten Sie sicherstellen, dass Ihre Kühlfans in der Lage sind, die Hitze am Ende der Lampe zu bewältigen.