In der Produktionsstätte zeigt sich eine Abweichung der Backtemperatur nicht durch ein Warnlicht an. Stattdessen zeigt sie sich als eine Abweichung von 0,3 % im CD-Wert, als Abweichung in der Breite der Linien sowie als Menge an Ausschusswaren, die nach Ablauf des Reparaturzeitraums entsteht. Wenn die Lampe des Ofens altert, kann der Einstellwert zwar noch korrekt angezeigt werden – doch die Oberfläche des Wafers ist weiterhin sehr heiß. Es sind daher Ersatzteile erforderlich, die für eine konstante Thermaleistung sorgen – von Batch zu Batch.
Was technisch wichtig ist:
Wir entwickeln diese Ersatzteile für echte Halbleiterproduktionen. Der Heizelement hält eine stabile Leistung konstant aufrecht, wodurch die Homogenität auf der Waferoberfläche bei ±0,1 °C bleibt. Dadurch bleiben die empfindlichen Dimensionen unter Kontrolle. Die Konstruktion ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Die verwendeten Materialien und Dichtungen sorgen dafür, dass während des Backvorgangs keine Partikel entstehen.
Die Wiederholgenauigkeit ist bereits in der Konstruktion berücksichtigt. Die Temperatur kehrt schnell wieder auf ihr Niveau zurück, sobald die Tür geöffnet wird. Die Steuerung reagiert so, dass es zu keinen Überschreitungen kommt, die die Qualität der Produkte beeinträchtigen könnten.
Warum das funktioniert:
In der Lithografie und beim Bearbeiten von Resistmaterialien ist die Temperatur etwas, was man später nicht mehr korrigieren kann. Eine präzise Temperaturregelung hat direkten Einfluss auf die Produktqualität: weniger Fehler, weniger Reparaturen und eine vorhersehbare Expositionstiefe. Zudem verbessert das die Stabilität der Anlagen, indem unplanmäßige Stillstände durch weniger Alarmsignale sowie weniger Zeit, die mit der Behebung von Temperaturabweichungen verbunden ist, reduziert werden.
Das Ergebnis ist eine geringere Kosten pro Wafer – weniger Ausschuss, weniger Ersatzteilaustausche und eine konstante Produktionsleistung.
Was Sie wissen müssen:
Diese Ersatzteile sind für die wichtigsten OEM-Geräteplattformen geeignet. Allerdings sind Ausrichtung und thermische Verbindung sehr empfindlich. Planen Sie den Austausch während der Wartungsarbeiten und nutzen Sie diese Gelegenheit, um den Kontakt der Thermoelemente sowie den Zustand der Türdichtungen zu überprüfen. Für eine reibungslose Übernahme sollten die Ersatzteile mit der ursprünglichen Kalibrierungskurve übereinstimmen. Prüfen Sie außerdem das Verhalten der Ersatzteile auf einem Testwafer, bevor Sie das Produkt freigeben.