In der Fabrikhalle reicht bereits eine kleine Abweichung in der Trocknungsphase aus, um die Eigenschaften des Photoresists zu beeinträchtigen. Dadurch müssen Wafern weggeworfen werden – und es wird unnötig Energie verbraucht. Der Energieverbrauch nimmt außerdem durch ineffiziente Heizzyklen sowie die anschließenden Justierungen weiter zu. Wir haben ein thermisches System entwickelt, das beide Probleme löst: Es reduziert den Energieverbrauch, während gleichzeitig die notwendige Temperatur für den Lithografieprozess gewährleistet wird.
Was technisch wichtig ist:
Über den gesamten Trocknungsprozess hinweg halten wir die Homogenität der Wafer auf einem Niveau von ±0,1 °C. Dadurch bleiben die Parameter während des Trocknungsprozesses konstant. Das System kann in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden, ohne dass Partikel entstehen – dadurch bleibt die Qualität der Wafer gewährleistet. Die Heizeinrichtung ist für einen 24/7-Betrieb ausgelegt, mit keinerlei unplanmäßigen Stillständen und einer Lebensdauer von über 10.000 Stunden.
Die Wiederholgenauigkeit wird messbar erfasst – sie wird nicht einfach angenommen. Bei mehreren Durchläufen werden die vorgegebenen Parameter stets eingehalten, und der Regelkreis bleibt stabil, selbst wenn die Netzspannung schwankt.
Warum es in einer echten Fabrik funktioniert:
Der Energieverbrauch ist hier sichtbar, messbar und steuerbar. Wir führen Energieaudits durch, um den Verbrauch pro Charge und pro Wafer genau zu ermitteln. Anschließend passen wir die Heizparameter an, um überschüssige Wärme zu vermeiden, ohne dabei den Prozessablauf zu beeinträchtigen. Dadurch können kürzere Prozesszeiten erreicht werden, die Kosten sinken und weniger Wafer müssen weggeworfen werden – ohne dass sich die Eigenschaften des Photoresists ändern. Das Ergebnis ist eine konstante Kontrolle der entscheidenden Parameter sowie geringere Kosten pro Wafer – Monat für Monat.
Was man wissen sollte:
Die Plattform kann mit bestehenden Anlagen und Öfen verbunden werden. Allerdings benötigt sie einen eigenen Stromkreis sowie eine saubere Luftzufuhr, um die erforderliche Homogenität zu gewährleisten. Planen Sie eine kurze Einrichtungszeit ein, damit die Parameter an Ihre Anforderungen angepasst werden können. Sobald die Anlage kalibriert ist, funktioniert sie wie erwartet: kontinuierlich, wiederholbar und energieeffizient.