Hören Sie auf, Zeit mit langsamen Heizgeräten zu verschwenden – warum goldbeschichtete IR-Lampen tatsächlich funktionieren
Wenn Sie noch immer auf die Konvektionsheizung setzen, um Ihre Wafer zu erhitzen, kennen Sie die Probleme. Im Grunde genommen wird lediglich eine riesige Luftblase erhitzt, nur um Energie an das Wafer zu übertragen. Das ist sehr langsam. Zudem geht viel Wärme verloren – und die Zeit bis zur Erreichung der gewünschten Temperatur scheint endlos zu sein.
Goldbeschichtete Infrarotlampen lösen dieses Problem, indem sie auf den Zwischenschritt verzichten. Anstelle der Erwärmung der Luft strahlen sie die Energie direkt auf das Ziel ab.
Hier liegt der Trick mit dem Gold:
Eine normale Quarzlampe gibt Wärme in alle Richtungen ab – das ist verschwenderisch. Doch wenn man die Innenseite des Quarzrohres mit Gold beschichtet, fungiert dieses wie ein Spiegel. Es lenkt die Infrarotstrahlung, die sonst nach hinten abgelenkt würde, wieder nach vorne.
Das Ergebnis? Ein viel intensiverer Wärmestrahl, der auf das Halbleitermaterial trifft. So kann man mehr Energie nutzen, ohne die Stromkosten in die Höhe treiben zu müssen.
Aber es handelt sich dabei nicht um Magie – es gibt Dinge, auf die man achten muss.
Wenn man die Wärmestärke erhöht, muss man auf die thermischen Gradienten achten. Wenn der Abstand zwischen den Lampen etwas nicht stimmt, entstehen Hotspots. Und niemand möchte doch verdrehte Wafer haben.
Außerdem muss man sicherstellen, dass das Kühlsystem ausreicht. Ein Teil der Wärme wird von den Wänden der Kammer reflektiert – wenn man nicht aufpasst, können die Lampen beschädigt werden.
Einsetzen in die Produktionsanlage
Das Beste daran ist, dass diese Lampen in der Regel problemlos als Ersatz verwendet werden können. Sie passen einfach in Standard-IR-Anlagen.
Sie sind eine große Hilfe in Umgebungen mit hohem Vakuum oder in Reinräumen, wo man den Luftstrom nicht kontrollieren kann, ohne Kontaminationen zu riskieren. Wenn Sie es satt haben, Wafer auf traditionelle Weise zu erhitzen, und eher schnell Ihre Produktionsziele erreichen möchten, dann ist das die richtige Lösung.