공장 건조 공정을 위한 에너지 감사

제조 공장에서는 건조 단계에서 발생하는 약간의 오차만으로도 포토레지스트의 특성이 규격에서 벗어날 수 있습니다. 그 결과 웨이퍼를 폐기해야 하고, 불필요하게 에너지가 낭비됩니다. 게다가 비효율적인 가열 과정과 그에 따른 재조정 작업으로 인해 에너지 낭비가 점점 더 심해...