와이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법: 오존이 없는 적외선 램프의 진실
대량 생산 환경에서 램프가 고장 나는 것은 재앙과 같습니다. 단순히 가동 중단 문제만 있는 것이 아닙니다. 만약 석영관이 실리콘 웨이퍼 위에서 파손된다면, 온갖 유리 조각과 화학 잔여물들이 여기저기 퍼집니다. 정말 엉망이 되고, 그로 인해 생산 효율도 급격히 떨어집니다.
우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 오존이 전혀 발생하지 않는 적외선 램프를 개발했습니다.
오존의 문제점
일반적인 단파 적외선 램프는 185nm에서 254nm 범위의 방사선을 내보냅니다. 문제는 이러한 방사선이 산소와 반응하여 오존을 생성한다는 점입니다. 클린룸에서 오존은 치명적인 유해 물질입니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 특수한 필라멘트와 석영을 사용합니다. 이를 통해 오존이 생성되는 파장대가 사라집니다. 여전히 충분한 열을 얻을 수 있지만, 환경에 해로운 부작용은 줄어듭니다.
파손을 막는 방법
대부분의 석영관은 열충격으로 인해 파손됩니다. 즉, 너무 큰 온도 변화를 견디지 못하는 것입니다.
우리는 고순도 합성 석영을 사용합니다. 이 석영의 팽창률이 매우 낮아서, 전력이 자주 변동해도 균열이 생기지 않습니다. 하지만 그것만으로는 충분하지 않습니다. 우리는 안전망 역할을 하는 보호 코팅도 추가했습니다. 석영관이 파손되더라도 이 코팅이 모든 것을 지탱해 줍니다. 그래서 웨이퍼 위에 파편들이 떨어지는 것을 막을 수 있습니다.
열에 대한 설명
높은 전력을 작은 공간에 가하는 경우, 램프의 고정 장치가 그 영향을 받습니다.
우리의 램프는 높은 부하를 견딜 수 있도록 설계되었지만, 쿨링 시스템도 충분히 강력해야 합니다. 공기 흐름이 약하면 램프의 엔드캡이 과열되어 밀봉이 실패할 수 있습니다. 이는 단순한 물리 법칙의 문제이지만, 많은 사람들이 이 점을 간과합니다.
석영의 순도와 램프 구조를 철저히 관리함으로써, 입자가 떨어지는 현상을 줄일 수 있었습니다. 그 덕분에 램프가 계속해서 제 기능을 할 수 있습니다.