더 많은 열을 얻으세요 – 땀 흘리지 않고도 가능합니다!
반도체 웨이퍼 세척 장비를 사용해본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 물은 열을 흡수하는 성질이 있어서, 우리가 웨이퍼에 에너지를 공급하는 속도보다 훨씬 빠르게 그 에너지를 빼앗아 갑니다. 따라서 작업을 완료하려면, 주변 환경이 그 에너지를 모두 가져가기 전에 가능한 한 많은 에너지를 웨이퍼 표면에 전달할 수 있는 IR 시스템이 필요합니다.
대부분의 사람들은 알루미늄 반사판을 사용합니다. 그건 괜찮지만, 에너지를 너무 많이 흡수하기 때문에 결국 에너지가 낭비됩니다. 그래서 우리는 금을 사용합니다.
왜 금일까요?
듣기에는 화려해 보이지만, 사실은 실용적인 선택일 뿐입니다. 근적외선 영역에서 금은 정제된 강철이나 알루미늄보다 훨씬 더 많은 에너지를 반사합니다. 우리는 하우징에 얇고 정밀한 금 층을 코팅하여, 일반적으로 사라져버리는 방사능을 다시 웨이퍼로 돌려보냅니다.
이렇게 하면 흩어진 빛이 집중된 빔으로 바뀝니다. 램프에서 나오는 모든 에너지가 웨이퍼에 도달하게 됩니다.
더 많은 열, 더 적은 전력
재미있는 점은, 램프의 출력을 금의 최대 반사율에 맞추면 된다는 것입니다. 이렇게 하면 더 높은 열 밀도를 얻을 수 있으면서도, 전력을 더 많이 사용할 필요가 없습니다. 그래서 장비도 더 작고 컴팩트할 수 있습니다. 만약 일반적인 반사판을 사용한다면, 더 높은 전력이 필요할 것입니다. 그러면 필라멘트가 타거나 하우징이 녹아버릴 위험이 있습니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
금은 열을 반사하는 데는 훌륭하지만, 매우 부드러운 소재입니다. 따라서 연마제나 강한 화학물질을 사용해서는 안 됩니다. 코팅이 손상되면 웨이퍼에 ‘차가운 부분’이 생기게 되는데, 이는 해결하기 매우 어렵습니다. 그러니 부드러운 세정법을 사용하여 코팅을 완벽하게 유지해야 합니다.
가장 좋은 점은, 이 제품들이 기존 컨트롤러에 그대로 연결될 수 있다는 것입니다. 그러면 웨이퍼가 목표 온도에 도달하는 데 걸리는 시간이 훨씬 줄어듭니다.
단, 열이 매우 집중되기 때문에, 램프 주변의 열을 처리할 수 있는 쿨링 팬이 제대로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다.