
Ngăn chặn các bóng đèn hồng ngoại gây hư hại cho các tấm wafer của bạn
Việc vận hành các máy sản xuất với công suất cao sẽ gây áp lực lớn lên các bóng đèn hồng ngoại. Chúng dễ bị hỏng sau một thời gian sử dụng. Khi bóng đèn cuối cùng cũng hỏng – hoặc tồi tệ hơn, nổ trong buồng gia nhiệt – thì đó thực sự là một thảm họa. Bạn sẽ phải đối mặt với tình trạng các mảnh thủy tinh và các mảnh vụn khác rải rác khắp nơi. Điều này không chỉ làm hỏng các tấm wafer đang được xử lý, mà còn khiến toàn bộ quy trình sản xuất bị gián đoạn. Bạn phải ngừng hoạt động toàn bộ dây chuyền để dọn dẹp mớ hỗn độn này.
Đối phó với hiện tượng “nổ” của bóng đèn
Kẻ thù thực sự ở đây chính là cú sốc nhiệt. Nếu lớp vỏ thủy tinh chứa những tạp chất nhỏ, hoặc các bức tường bên trong không hoàn toàn đồng đều, thì nhiệt độ cao sẽ khiến thủy tinh co giãn không đều. Đó chính là nguyên nhân gây ra các vết nứt trên bóng đèn. Chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại thủy tinh này co giãn đều, vì vậy nó có thể chịu đựng được những chu kỳ hoạt động nhanh mà không bị hỏng. Nhưng thành thật mà nói, bóng đèn vẫn có thể bị hỏng. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng lớp vỏ bảo vệ xung quanh bóng đèn. Hãy coi đó như một “lưới an toàn”. Nếu bóng đèn bên trong phát nổ, các mảnh vụn sẽ bị giữ lại bên trong lớp vỏ bảo vệ. Như vậy, các tấm wafer của bạn vẫn sạch sẽ, và bạn không cần phải hoảng loạn.
Xây dựng hệ thống để hoạt động lâu dài
Để đảm bảo sự ổn định, chúng tôi sử dụng dây tóc bằng chất liệu halogen. Điều này giúp ngăn chặn việc wolfram bốc hơi và làm ô nhiễm các bức tường bên trong, từ đó giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong hàng nghìn giờ hoạt động. Chúng tôi cũng sử dụng các đầu nối được gia cố. Nếu khí bị rò rỉ, bóng đèn sẽ nhanh chóng hỏng. Một mẹo nhỏ: hãy cẩn thận với nguồn điện cung cấp cho bóng đèn. Việc tăng điện áp quá mức có thể khiến bóng đèn hỏng nhanh hơn, và làm tăng nguy cơ nổ.
Những điểm cần lưu ý
Việc sử dụng lớp vỏ bảo vệ sẽ làm giảm một chút khả năng truyền sóng hồng ngoại. Bạn sẽ mất đi một lượng nhiệt nhỏ. Điều này không phải là vấn đề lớn, nhưng bạn cần điều chỉnh một vài thiết lập. Bạn có thể tăng công suất của bóng đèn, hoặc đặt bóng đèn gần tấm wafer hơn một chút. Hãy chắc chắn rằng các quạt làm mát có thể xử lý được lượng nhiệt dư thừa, nếu không, khung bóng đèn có thể bị biến dạng.