Trong quy trình sản xuất, công đoạn in ấn diễn ra theo một nhịp độ cố định – bạn không thể dừng quá trình này lại được. Nếu nhiệt độ IR thay đổi trong quá trình sấy phim ảnh, điều đó sẽ dẫn đến sự thay đổi về kích thước của các chi tiết trên wafer, và điều này ảnh hưởng tiêu cực đến chất lượng sản phẩm. Điều cần thiết là có nguồn nhiệt ổn định, đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer, và nguồn nhiệt này phải duy trì cùng một mức nhiệt mỗi lần wafer được đưa vào máy.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các bộ sưởi IR để cung cấp nhiệt chính xác vào vị trí cần thiết trên wafer, bằng cách sử dụng nguồn tử ngoại tia ngắn phù hợp với điều kiện quy trình sản xuất. Mức độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer phải nằm trong khoảng ±0,1°C, còn độ chính xác của mức nhiệt cần được duy trì ở mức ±0,2°C. Nhờ vậy, mỗi lô sản phẩm đều được xử lý theo cùng một quy trình. Thiết kế bộ phát nhiệt dựa trên chất quartz giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi, đồng thời đảm bảo tính tương thích với môi trường sạch loại 1–100. Hệ thống kiểm soát vòng kín, kết hợp với cảm biến loại A, giúp kiểm soát độ lệch nhiệt dưới 0,5°C – từ đó bảo vệ các thành phần nhạy cảm trên wafer trong khi vẫn đảm bảo quá trình xử lý diễn ra nhanh chóng.
Tại sao giải pháp này hiệu quả trong sản xuất
Trong quy trình hoạt động 24/7, thiết bị này vẫn hoạt động ổn định mà không gặp sự cố nào. Chúng tôi đã ghi nhận tỷ lệ lỗi bằng 0 trong suốt quá trình sản xuất liên tục. Dữ liệu thực tế cho thấy thiết bị có thể hoạt động hơn 5.000 giờ mà tỷ lệ sản phẩm bị lỗi chỉ dưới 5%. Điều này giúp kiểm soát chính xác kích thước các chi tiết trên wafer, giảm lượng wafer bị hỏng, và giúp lên kế hoạch bảo trì một cách hiệu quả. Việc tăng tốc độ xử lý giúp rút ngắn thời gian xử lý, mà vẫn đảm bảo chất lượng sản phẩm.
Những chi tiết thực tế cần lưu ý
Việc lắp đặt thiết bị đòi hỏi nguồn điện ổn định và hệ thống chống nhiễu điện từ hiệu quả, nhằm đảm bảo hệ thống kiểm soát hoạt động ổn định. Thiết bị này có thể được lắp đặt vào các bộ phận tiêu chuẩn của máy móc, nhưng bộ phận truyền nhiệt cần được điều chỉnh sao cho phù hợp. Nếu không, điều này sẽ dẫn đến sự không đồng đều về nhiệt độ. Hãy lên kế hoạch kiểm tra thiết bị sau khi lắp đặt, để xác định các thông số cần được duy trì ổn định. Một khi các thông số này đã được xác định, quy trình sản xuất sẽ diễn ra ổn định từ lần này sang lần khác.