Як уникнути пошкодження виробів через знос ламп
У активному заводі з виробництва напівпровідників сам по собі знос лампи є проблемою. Але ситуація стає ще гіршою, коли кварцовий корпус лампи руйнується. У такому разі уламки вольфраму та скла потрапляють прямо на пластини. Це справжній кошмар – не лише виникає простій у роботі, але ще й виникає можливість вторинного забруднення, що призводить до знищення всього обсягу виробленої продукції.
Найпростіший спосіб запобігти цьому – це розмістити між інфрачервоною лампою та об’єктом обробки додатковий кварцовий екран.
Чому саме кварц?
Ми використовуємо кварц високої чистоти, оскільки він може витримувати високі температури. Лампи працюють при дуже високій потужності, тож потрібен матеріал, який зможе витримати такі умови без руйнування. Якщо використовувати менш якісний матеріал, екран буде поглинати тепло, поки не перегріється та не розіб’ється. Тоді все повернеться на початок. Кварц високої чистоти дозволяє інфрачервоному випромінюванню проходити крізь нього, не поглинаючи занадто багато енергії.
Правильне розташування екрана
Екран можна вважати своєрідною „захисною мережею“. Якщо основна лампа руйнується, екран захищає пластини від уламків. Але є одна умова – необхідно дотримуватися точного відстані між лампою та екраном. Якщо вони торкаються одна одної, виникають точки підвищеної температури, що призводить до раннього руйнування пристрою.
Крім того, необхідно перевірити кріплення лампи. Воно має бути міцним. Якщо є вібрації, які можуть спричинити зіткнення лампи з екраном, це призведе до появи точок напруги, які можуть спричинити руйнування.
Компроміси
Ніщо не є ідеальним. Додавання екрана означає, що частина теплового випромінювання буде відбиватися чи поглинатися перед тим, як досягти пластин. Це призведе до незначного зниження температури. Щоб уникнути цього та зберегти правильну роботу обладнання, можливо, доведеться збільшити потужність контролера чи дозволити пластинам трохи довше перебувати під впливом тепла.
Це невелика ціна за безпеку. Набагато простіше скоригувати параметри живлення, ніж пояснювати, чому ціла партія пластин забруднена.