Kızılötesi Isıtma ile Sıcak Hava Isıtması: Waflerinizin ısıtılması için hangi yöntemi tercih edersiniz?
Eğer wafer işlemleri için sıcak hava dolaşımından kızılötesi ısıtma yöntemine geçiyorsanız, aslında ısının parçaya nasıl ulaştığı konusundaki tüm yaklaşımınızı değiştirmiş oluyorsunuz.
Zorlanarak hareket ettirilen havayı düşünün. Havayı ısıtıp odanın içinde dolaştırıyorsunuz ve sadece bekliyorsunuz. Havadan gelen enerjinin waferlere ulaşmasını bekliyorsunuz. Bu süreç oldukça yavaştır ve hissedilebilir bir gecikme vardır.
Kızılötesi ısıtma ise farklıdır. Bu bir radyasyondur; enerji, havanın gibi bir “aracı” olmaksızın doğrudan waferlere ulaşır.
Zaman çok önemli
Sıcak hava kullanırken termal ataletle mücadele etmek zorundasınız. Hava ve oda duvarları çok fazla ısı emer; bu da istenen sıcaklığa ulaşmak için dakikalarca beklemek zorunda kalmanıza neden olur.
Kızılötesi lambalar ise saniyeler içinde hedefe ulaşır. Bu da hızlı termal işlemler için büyük bir avantajdır. Hızlı bir kimyasal reaksiyon tetiklemek veya bir yüzeyi ısıtmak istediğinizde, tüm yüzeyi ısıtmak zorunda kalmazsınız. Böylece katkı maddeleri yerlerinde kalır.
Mesafe çok önemli
Kızılötesi lambaları garajınızdaki bir ısıtıcı gibi kullanamazsınız. Lamba ile wafer arasındaki mesafe çok önemlidir. Eğer lamba wafer’e çok yakın olursa, waferde “sıcak noktalar” oluşur ve wafer bozulabilir. Ama lambayı çok uzakta tutarsanız, güç yoğunluğu düşer ve verimlilik azalır.
Bu, bir denge meselesidir. Genellikle bu ayarı dalga boyuna göre yaparız. Hızlı nüfuz için kısa dalga boyu idealdir; yüzeyde hassasiyet için orta dalga boyu uygundur.
Avantajlar ve dezavantajlar
Kızılötesi ısıtmanın avantajı hızlı olmasıdır. Ancak her zaman “eşit” ısı dağılımı sağlamaz. Her şeyin ısının etkisi altında olduğu bir ortamın aksine, kızılötesi ısıtma daha değişken olabilir. Wafer’in kenarlarının merkezinden daha hızlı ısındığını görebilirsiniz.
Bunu düzeltmek için sadece en iyisini umamazsınız. Eşit ısı dağılımı sağlamak için bölgesel ısıtma sistemleri veya dönen bir wafer kullanmanız gerekir.
Ve son olarak… Soğutmayı da unutmamalısınız. Kızılötesi lambalar çok güçlüdür. Eğer soğutma sistemleri uygun şekilde ayarlanmazsa, yüksek güç seviyelerinde lamba zarar görebilir. Bu da iyi bir durum değildir.