
Yanmış lambaların wafer üretiminizi mahvetmesine izin vermeyin
Eğer yüksek kapasiteli CNT üretimi yapıyorsanız, bunun getirdiği zorlukları biliyorsunuzdur. Bu kızılötesi lambalar sürekli olarak aşırı yük altında çalışıyor. Ancak en kötü durum şu: Lamba patlıyor. Bu durum sadece üretim hattınızı durdurmakla kalmaz; aynı zamanda waferlerinizi kuvars parçaları ve halojen gazlarıyla kaplar. Böylece üretiminiz tamamen sona erer ve büyük bir temizlik işiyle karşı karşıya kalırsınız.
Lambalar neden patlar?
Bu lambalar, CNT üretimi için gerekli olan ısı seviyelerini sağlamak amacıyla inanılmaz derecede yüksek sıcaklıklarda çalışır. Asıl sorun ise termal şoktur. Kuvars içindeki küçük bir kusur veya aşırı hızlı güç artışı, lambanın patlamasına neden olabilir. Bu durum genellikle, yüksek üretim hızlarını korumak için ekipmanın sınırlarına kadar zorlandığı zamanlarda meydana gelir. Bu durum sürekli bir endişe kaynağıdır.
Biz bunu nasıl çözdük?
Artık sadece umut etmek yerine, bazı koruma önlemleri almak istedik. Yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanmaya başladık. Bu malzeme, hızlı değişen sıcaklık koşullarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Ama asıl çözüm, ısıtıcı elemanı ikinci bir yüksek sıcaklıklı kuvars koruyucu ile sarmak oldu. Bunu bir güvenlik ağı olarak düşünebilirsiniz. Eğer içerideki lamba patlarsa, bu koruyucu tüm parçacıkları engeller. Böylece waferler zarar görmez ve vakum ortamı bozulmaz. Projeniz de yolunda devam eder.
Dürüstçe söylemek gerekirse…
Hiçbir şey bedava değildir. Bu koruyucu katmanın eklenmesi, radyant ısının bir kısmını engeller. Bu da enerjinin bir kısmının kaybedilmesine neden olur. Bu durumu telafi etmek için güç ayarlarınızı değiştirmeniz veya waferlere biraz daha fazla zaman tanımanız gerekebilir. Belki biraz daha yavaş olur, ancak tek bir lambanın bozulması yüzünden tüm waferlerin ziyan olmasından iyidir. Ben her seferinde bu riski göze alırım.
Son bir tavsiye: Kesinlikle hassas PID kontrolü kullanın. Güvenlik katmanı olsa bile, voltajın çok hızlı artırılması yine de filamentlere zarar verebilir. Gücü dikkatli kullanın; böylece bu cihazlar çok daha uzun süre kullanılabilir.