На производственном участке процесс литографии идет в своем собственном темпе – нельзя останавливать его в момент работы. Если температура изменяется...

Out on the fab floor, a half-degree drift during the photoresist bake is all it takes to scrap a full carrier. You need a dryer that holds...

На линии 300 мм дрейф менее 0,1°C во время сушки достаточно, чтобы сместить критическое измерение на нанометры — и при этом наблюдается рост...