Перестаньте тратить время на нагрев воздуха
Если вы когда-либо работали с системами циркуляции горячего воздуха в процессе обработки полупроводников, вы знаете, насколько это раздражает. Процесс нагрева происходит очень медленно — приходится ждать, пока весь печной корпус не нагреется, прежде чем деталь начнет нагреваться. Это похоже на попытку подогреть комнату с помощью обогревателя, прежде чем можно будет начать готовку.
Мы делаем все иначе. Мы используем инфракрасные лампы в сочетании с алюминиевыми отражателями. Вместо нагрева воздуха тепло направляется непосредственно на материал.
Почему важен алюминий
Подумайте о самой инфракрасной лампе: половина тепла просто отражается обратно в корпус устройства. Это полная трата ресурсов.
Вот тут-то и пригождается высокочистый алюминий. Он действует как зеркало для фотонов, отражая всю энергию обратно на поверхность материала. Благодаря способности алюминия эффективно отражать коротковолновое и средневолновое излучение, тепло распределяется гораздо точнее. Тепло достигает поверхности материала быстро и с высокой интенсивностью.
Сокращение времени ожидания
У систем с горячим воздухом есть огромная «термическая инерция» — другими словами, им требуется много времени для стабилизации температуры.
У инфракрасных систем все иначе: они работают практически мгновенно. Если использовать инфракрасные лампы с правильными отражателями, можно избежать лишних временных затрат на нагрев. Время обработки каждого пластина сокращается, так как внимание сосредотачивается на самой детали, а не на окружающей среде.
Недостатки
Это не волшебство. Высокоотражающий алюминий — отличный материал, но он довольно чувствителен к внешним факторам. Если вы работаете в агрессивной химической среде или при экстремальных температурах, поверхность алюминия может окислиться. При этом коэффициент отражения снижается. Пыль и другие загрязнения также могут снизить эффективность работы отражателей. Нужно постоянно поддерживать их в чистоте, чтобы они продолжали работать.
Для большинства производств полупроводников это лучший вариант. Это позволяет сэкономить много пространства и избавиться от необходимости ждать, пока печь нагреется. Только будьте осторожны: убедитесь, что вентиляторы смогут справиться с избыточным теплом, которое не попадает на деталь. Иначе вы можете повредить свою электронику в процессе обработки пластин.