На производственном полу даже небольшое отклонение в процессе сушки может привести к тому, что параметры фотополимера окажутся не соответствующими требованиям. В результате приходится выбрасывать пластины и тратить лишние ресурсы на их обработку. А экономические потери? Они накапливаются со временем из-за неэффективных циклов нагрева и необходимости постоянной корректировки параметров. Мы создали тепловую систему, которая помогает решить оба этих проблемы: она снижает расход энергии, сохраняя при этом необходимый уровень температуры для проведения процесса литографии.
Что важно с технической точки зрения На протяжении всего процесса сушки мы поддерживаем одинаковость температуры на уровне пластин в пределах ±0,1°C. Это позволяет соблюдать установленные параметры процесса. Система может работать в чистых помещениях класса 1–100 без образования частиц, что способствует повышению качества продукции на критических этапах производства. Конструкция нагревателя позволяет ему работать круглосуточно без перерывов; срок службы составляет более 10 000 часов.
Повторяемость процесса измеряется, а не предполагается. При последовательных запусках процесса параметры остаются стабильными, даже если напряжение в сети меняется.
Почему это работает на реальном производстве Расход энергии здесь является измеримым и контролируемым показателем. Мы проводим аудит расходов энергии, разделяя его по каждой партии и по каждой пластине, затем корректируем параметры нагрева, чтобы минимизировать избыточное тепло, не влияя на качество процесса. Это позволяет сократить время обработки, снизить расходы на энергию и количество бракованных продуктов, при этом не меняя параметры процесса литографии. Результатом является стабильный контроль критических размеров и снижение стоимости производства одной пластины с месяца на месяц.
Что нужно знать Эта система может быть интегрирована с существующими устройствами и печами, но для поддержания необходимого уровня однородности требуется отдельная схема питания и постоянный приток чистого воздуха. Необходимо учитывать время на настройку параметров процесса. После настройки система будет работать стабильно, повторяемо и с минимальными затратами на энергию.