
Mantendo suas bolachas semicondutoras limpas: A verdade sobre as lâmpadas infravermelhas livres de ozônio
Em uma instalação de semicondutores de alto volume, a falha de uma lâmpada é um verdadeiro pesadelo. Não se trata apenas do tempo de parada da máquina. Se um tubo de quartzo se quebrar em cima de uma bolacha de silício, você terá cacos de vidro e resíduos químicos por toda parte. É um grande desastre, e isso acaba com a produtividade imediatamente.
Nós desenvolvemos nossas lâmpadas infravermelhas livres de ozônio justamente para evitar que isso aconteça.
O problema com o ozônio
A maioria das lâmpadas infravermelhas de onda curta emite radiação na faixa de 185nm a 254nm. O problema é que essa radiação reage com o oxigênio, gerando ozônio. Em uma sala limpa, o ozônio é, basicamente, um inimigo corrosivo.
Para resolver esse problema, usamos filamentos dopados e quartzo especializado. Isso permite que o espectro de luz seja alterado, de modo que as ondas que geram ozônio não estejam presentes. Ainda assim, você obtém todo o calor necessário para a cura dos materiais, mas sem os efeitos corrosivos que podem danificar o ambiente.
Evitando quebra dos tubos
A maioria dos tubos se quebra devido ao choque térmico – basicamente, eles não conseguem lidar com as mudanças bruscas de temperatura.
Usamos quartzo sintético de alta pureza. Ele tem uma taxa de expansão muito baixa, então consegue resistir aos ciclos de ligação/desligamento sem se quebrar. Mas não paramos por aí. Também adicionamos uma camada protetora que funciona como uma espécie de “rede de segurança”. Se o quartzo se quebrar, essa camada mantém tudo unido, evitando que os cacos caiam sobre as bolachas de silício.
Uma palavra sobre o calor
Quando se utiliza alta potência em um espaço pequeno, os suportes das lâmpadas sofrem com isso.
Nossas lâmpadas são projetadas para suportar cargas elevadas, mas você precisa garantir que seus sistemas de resfriamento consigam acompanhar essa carga. Se o fluxo de ar for insuficiente, as extremidades das lâmpadas superaquecerão e os selos falharão. É um problema simples de física, mas muitas pessoas acabam cometendo erros nesse aspecto.
Ao focarmos na pureza do quartzo e nas características físicas do revestimento das lâmpadas, conseguimos reduzir a formação de partículas indesejadas. Isso significa que suas lâmpadas permanecem intactas, mesmo quando são submetidas a altas cargas.