Por que um equipamento de aquecimento para processo de “soft bake” precisa de um elemento de aquecimento adequado para essa finalidade?
Nós fabricamos elementos de aquecimento específicos para o processo de “soft bake” em litografia, especialmente para a fase inicial da produção dos wafers. A ideia é simples: manter o calor exatamente onde ele é necessário, durante o processo de cura do fotoresista.
A realidade é que, se houver um erro de um grau na temperatura, tudo pode ser estragado. Por isso, desenvolvemos nossos elementos de aquecimento com tubos de halogênio de alta densidade. Eles fornecem calor constante e previsível, exatamente onde o processo requer, sem desperdiçar energia em outros lugares.
Potência, tensão e espaço disponível
Esses elementos de aquecimento foram criados para serem utilizados em espaços reduzidos. Eles funcionam com alta tensão e alta densidade, permitindo que sejam instalados em áreas pequenas, sem perder desempenho. Uma entrada de 400V permite obter a potência necessária em um tamanho compacto – imagine um tubo de quartzo de 300 mm. Essa escolha de tensão diminui a corrente necessária, o que significa que não são necessários condutores volumosos, e o bloco de terminais permanece mais frio. Com 2500W, é possível atingir rapidamente a temperatura desejada, além de manter essa temperatura mesmo quando o processo está sob carga.
Quanto às dimensões físicas, elas correspondem aos padrões dos equipamentos de litografia existentes, o que torna sua instalação muito simples.
Os materiais que garantem seu funcionamento
Dentro do elemento de aquecimento, há um filamento de halogênio de onda curta, localizado dentro de um tubo de quartzo de alta pureza. O quartzo suporta bem as variações de temperatura e mantém uma emissão de calor constante. O ciclo de halogênio mantém o filamento estável ao longo do tempo, garantindo que os parâmetros de aquecimento permaneçam constantes. O tubo utiliza um conector R7s – um design com dois pinos que garante contato firme, resistência às variações de temperatura e facilita a substituição da lâmpada durante a manutenção.
Nós operamos esse equipamento em altas temperaturas e velocidades, por isso o soquete e os cabos são projetados para suportar condições de alta temperatura contínua.
Qual é a sensação ao usá-lo na prática?
Na fábrica, o processo de “soft bake” precisa ser feito rapidamente e de maneira uniforme, para que o fotoresista seje curado antes da exposição. Nosso elemento de aquecimento oferece isso, com um campo de radiação intenso e controle preciso. Seu tamanho compacto facilita sua integração nos sistemas existentes de aplicação e aquecimento. No entanto, há um trade-off: como o calor é muito intenso, é necessário que o sistema de resfriamento e a circulação de ar estejam bem configurados para manter a temperatura adequada ao redor da lâmpada. Confiamos neste sistema, pois ele consegue manter a temperatura desejada mesmo após repetidas ciclos de uso. Se você quiser testá-lo em paralelo com seus equipamentos atuais, podemos fornecer as especificações técnicas para que você possa avaliar seu desempenho.