Na stanowisku litograficznym nawet zmiana temperatury o 2°C podczas procesu suszenia fotorezystu może doprowadzić do zmiany kluczowych wymiarów komponentów o kilka nanometrów, co sprawia, że wiele płytek staje się bezużytecznych. Lampa grzewcza R7s została zaprojektowana tak, aby ciepło było rozpraszane tylko w tym obszarze, gdzie to konieczne, a nie wszędzie indziej.
Co jest ważne pod względem technicznym Lampa R7s emituje krótkofalowe promienie podczerwone, które bezpośrednio oddziałują na fotorezyst i podłoże. Temperatura szybko osiąga ustalony poziom i utrzymuje się na nim. Na całej powierzchni suszenia temperatura musi być jednolita – z tolerancją ±0,1°C. To umożliwia uzyskanie spójnych wyników przy każdym procesie suszenia.
Kwarcowa obudowa oraz układ elementów wewnątrz lampy są tak zaprojektowane, aby uniknąć powstawania cząstek pyłu pod wpływem nagłych zmian temperatury. W pomieszczeniach o stopniu czystości Class 1–100 to zapewnia stabilność liczby cząstek pyłu. Ponadto można mieć pewność, że efektywność pracy lampy pozostanie stała przez ponad 5 000 godzin, z odpadkiem mniejszym niż 5% – co oznacza możliwość ciągłej pracy bez konieczności ciągłej kalibracji.
Dlaczego pasuje do procesu litograficznego Proces litografii wymaga precyzyjnego kontrolowania temperatury. Nadmierna temperatura powoduje uwalnianie rozpuszczalników i zmianę lepkości materiałów. Zbyt niska temperatura natomiast powoduje powstawanie grudek na krawędziach płytek, co utrudnia dalszą obróbkę. Dzięki lampie R7s można mieć lepszą kontrolę nad temperaturą i czasem suszenia, dzięki czemu ten sam proces przynosi takie same rezultaty za każdym razem.
Taka spójność pozwala na redukcję ilości przeróbek, zwiększenie wydajności oraz skrócenie czasu realizacji procesu. Ponadto zużywa się mniej energii, ponieważ reakcja lampy jest szybka, a straty energii minimalne. Długi czas życia lampy oznacza również mniejszą liczbę koniecznych napraw i krótszy czas przerwy w produkcji.
Na co należy zwrócić uwagę Lampa R7s jest przeznaczona do standardowych gniazd R7s, ale urządzenie musi być odpowiednio skonfigurowane – geometria reflektora oraz przepływ powietrza muszą być dostosowane do charakterystyk termicznych lampy, aby zachować wymaganą jednolitość temperatury ±0,1°C. Istnieje krótki okres rozgrzewki przed osiągnięciem ustalonej temperatury, więc należy to uwzględnić przy planowaniu procesu produkcji.
Aby uzyskać jak najbardziej spójne wyniki, lampę należy połączyć z kalibrowanym czujnikiem temperatury oraz kontrolerem, który potrafi kompensować wahania napięcia w sieci energetycznej.