Na linii produkcyjnej termiczne odchylenia powoli obniżają jakość produktów. Nawet niewielkie wahania temperatury na poziomie 0,5°C podczas procesu suszenia fotoopornika, albo awaria lampy podczas procesu parowania, mogą sprawić, że proces, który powinien być powtarzalny, stanie się nieprzewidywalny. Stworzyliśmy lampę grzewczą Evatec, aby wyeliminować takie problemy.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Lampa wykorzystuje halogenowy emiter krótkich fal umieszczony w szklanej obudowie, dzięki czemu zapewnia szybkie i bezpośrednie oddawanie ciepła – reakcja następuje w czasie poniżej sekundy. Na całej powierzchni płytki temperatura pozostaje jednolita w zakresie ±0,1°C, a powtarzalność temperatury jest wysoka już od początku do końca procesu. Konstrukcja nie powoduje żadnych problemów związanych z cząstkami, więc poziom czystości w pomieszczeniu klasy 1–100 pozostaje na odpowiednim poziomie. Lampa może pracować 24/7 bez przerw, a jej wydajność utrzymuje się na stałym poziomie przez ponad 5 000 godzin – spadek wydajności wynosi mniej niż 5%.
Dlaczego to funkcjonuje w praktyce? Bez względu na to, czy suszymy płytki po ich czyszczeniu, czy też aplikujemy fotooporny na specjalnym profilu temperatury, czy też procesujemy elementy w opakowaniach, termiczna kontrola pozostaje na wysokim poziomie. Wysoka jednolitość temperatury przekłada się na mniej defektów na krawędziach płytek, mniej konieczności poprawek oraz lepszą kontrolę wymiarów podczas procesu litografii. Szybka reakcja lampy skraca czas realizacji procesu, a stabilna wydajność zmniejsza ilość odpadków i przedłuża żywotność lampy – mniej konieczności wymiany lampy i mniejsze zużycie energii na jedną płytkę.
To, co musisz wiedzieć: Instalacja polega na dopasowaniu interfejsu łączeniowego urządzenia oraz upewnieniu się, że geometria reflektora jest zgodna z otwarciem komory. Gęstość emitowanego ciepła jest dostosowana do konkretnych parametrów parowania, więc wymiana lamp między różnymi maszynami wymaga szybkiej kalibracji ustawień. Po zmianie lampy należy przeprowadzić krótki okres testowy oraz sprawdzić równomierność rozpraszania ciepła.