Jak utrzymać płytki krzemowe w czystości: prawda o lampach IR bez ozonu
W dużych zakładach produkcyjnych półprzewodników awaria lampy jest prawdziwym koszmarem. Chodzi nie tylko o czas przerwy w pracy. Jeśli szklana rura pęknie nad płytką krzemową, powstają odłamki szkła i resztki chemiczne wszędzie dookoła. To prawdziwy bałagan, który natychmiast niszczy efektywność produkcji.
Stworzyliśmy nasze lampy IR bez ozonu właśnie po to, aby zapobiec takim sytuacjom.
Problemy z ozonem
Większość standardowych lamp IR emituje promieniowanie w zakresie od 185 nm do 254 nm. Problem polega na tym, że to promieniowanie reaguje z tlenem, tworząc ozon. W pomieszczeniach o wysokim poziomie czystości ozon stanowi poważnego wroga – jest bowiem środkiem korozyjnym.
Aby temu zaradzić, używamy filamentów wzbogacanych oraz specjalnego kwarcu. Dzięki temu spektrum światła ulega zmianie, więc te częstotliwości, które powodują powstawanie ozonu, w ogóle nie występują. Nadal uzyskujesz wystarczającą ilość ciepła potrzebnego do procesu utwardzania, ale bez negatywnych skutków korozyjnych.
Jak zapobiec pękaniu rur
Większość rurek pęka z powodu szoku termicznego – po prostu nie mogą poradzić sobie z gwałtownymi zmianami temperatury. Używamy więc kwarcu o bardzo wysokiej czystości. Ma on bardzo niski współczynnik rozszerzalności, więc może wytrzymać intensywne obciążenia bez pęknięć. Ale nie poprzestaliśmy na tym. Dodaliśmy również ochronną osłonę, która pełni rolę „sieci bezpieczeństwa”. Jeśli kwarc i tak pęknie, osłona chroni wszystko przed rozpadem.
Kilka słów o cieple
Gdy przepuszczasz dużą ilość energii przez małe otwory, oprawy lamp odczuwają to. Nasze lampy są przeznaczone do intensywnego użytkowania, ale musisz upewnić się, że system chłodzenia jest w stanie sprostać temu obciążeniu. Jeśli przepływ powietrza jest zbyt słaby, elementy lampy mogą się przegrzać, a uszczelki przestać pełnić swoją funkcję. To prosta sprawa fizyki, ale właśnie tu wiele osób popełnia błędy.
Dzięki dbałości o czystość kwarcu oraz specjalnej konstrukcji opraw, udało nam się zmniejszyć ilość drobnych odłamków, które mogą uszkodzić płytki krzemowe. To oznacza, że lampy pozostają nietknięte, nawet przy intensywnym użytkowaniu.