Przestań pozwalać przegrzanym lampom niszczyć Twoją wydajność waferów
Jeśli zajmujesz się produkcją CNT o dużym obciążeniu, znasz ten stres. Te lampy podczerwieni pracują ponad normę. Ale oto koszmarny scenariusz: rura pęka. To nie tylko zatrzymuje linię produkcyjną. Obsypuje Twój wafer odłamkami kwarcu i gazem halogenowym. W ten sposób Twoja wydajność znika, a Ty musisz poradzić sobie z ogromną pracą czyszczenia.
Dlaczego rury pękają
Te lampy pracują w niezwykle wysokich temperaturach, aby osiągnąć wymagane profile termiczne dla wzrostu CNT. Prawdziwym problemem jest szok termiczny. Jedna mała, mikroskopijna wada w kwarcu albo zbyt gwałtowne zwiększenie mocy sprawiają, że szkło po prostu pęka. Dzieje się to najczęściej wtedy, gdy forsujesz sprzęt do granic możliwości, aby utrzymać wysoką prędkość produkcji. To ciągłe zagrożenie.
Jak to naprawiliśmy
Postanowiliśmy przestać liczyć na szczęście i zaimplementować pewne zabezpieczenia. Zaczęliśmy od syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości. Jest on zaprojektowany tak, by wytrzymać intensywne cykle pracy bez pęknięć. Ale prawdziwym rozwiązaniem jest osłona. Otoczamy element grzejny drugą, wysokotemperaturową osłoną z kwarcu. Można ją traktować jak sieć bezpieczeństwa. Jeśli wewnętrzna lampa pęknie, osłona złapie wszystkie odłamki. Nic nie dotknie wafera. Twoja próżnia pozostanie nienaruszona, a projekt będzie nadal realizowany zgodnie z planem.
Szczera cena za rozwiązanie
Nic nie jest darmowe. Dodanie tej osłony faktycznie ogranicza ilość ciepła promieniowanego. Stracisz trochę energii, ponieważ osłona pochłania część promieniowania podczerwonego. Prawdopodobnie będziesz musiał dostosować ustawienia mocy lub dodać trochę więcej czasu na obróbkę waferów, aby to nadrobić. Czy to sprawi, że proces będzie wolniejszy? Być może. Ale to lepsze niż wyrzucenie całej partii waferów z powodu jednej uszkodzonej żarówki. To jest kompromis, który jestem gotów przyjąć za każdym razem. Ostatnia rada: upewnij się, że używasz dokładnej kontroli PID. Nawet przy użyciu osłony, zbyt szybkie zwiększanie napięcia nadal powoduje uszkodzenia żarówek. Bądź delikatny z mocą – wtedy te urządzenia będą pracować znacznie dłużej.