Di bilik pengeluaran, faktor suhu yang tidak stabil akan mengurangkan kualiti produk yang dihasilkan. Suhu sebanyak 0.5°C pada permukaan wafer semasa proses pemanasan bahan fotoresist, atau masalah dengan lampu yang digunakan untuk proses penguapan, boleh menyebabkan proses yang sepatutnya boleh diulang menjadi tidak konsisten. Kami telah mencipta lampu pemanas Evatec untuk mengatasi masalah ini.
Apa yang penting dari segi teknikal: Lampu ini menggunakan pemancar halogen berfrekuensi tinggi yang terletak di dalam selubung kuarza. Ini membolehkan panas yang dihasilkan berlaku dengan cepat dan tepat, dengan masa tindak balas kurang dari satu saat. Keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer kekal pada tahap ±0.1°C, dan kekonsistenan suhu tetap baik sepanjang proses pemanasan. Reka bentuk ini juga mengelakkan berlakunya partikel berbahaya, sehingga tahap kebersihan di bilik pengeluaran tetap pada tahap yang dikehendaki. Lampu ini boleh beroperasi 24/7 tanpa gangguan, dan prestasinya tetap stabil walaupun selepas 5,000 jam operasi – penurunan prestasi kurang dari 5%.
Mengapa ia berkesan dalam praktik: Sama ada anda sedang mengeringkan wafer setelah dibersihkan, atau memanaskan bahan fotoresist mengikut profil tertentu, reka bentuk ini memastikan suhu tetap konsisten. Keseragaman suhu yang tinggi membantu mengurangkan kecacatan pada permukaan wafer, serta memudahkan kawalan dimensi penting semasa proses litografi.Respons yang cepat dari lampu ini membantu memendekkan masa proses, sementara prestasi yang stabil pula membantu mengurangkan pembaziran bahan dan memanjangkan jangka hayat lampu tersebut – lebih sedikit penggantian diperlukan, dan penggunaan tenaga juga berkurangan.
Inilah yang perlu anda ketahui: Semasa pemasangan, pastikan antaramuka sambungan alat tersebut sesuai, dan bentuk reflektornya juga sesuai dengan lubang di dalam bilik pengeluaran. Ketumpatan pancaran cahaya lampu boleh disesuaikan mengikut kadar penguapan yang diinginkan. Oleh itu, apabila menukar lampu antara mesin yang berbeza, perlu dilakukan penyesuaian cepat terhadap tetapan lampu tersebut. Selepas menukar lampu, lakukan ujian pendek untuk memastikan keseragaman suhu tetap terjaga.