Di lantai litografi, anda tahu prosedurnya: pemanasan yang menyimpang walaupun setengah darjah akan mengganggu kawalan CD. Anda menjalankan fotoresist DUV melalui pemanasan lembut dan pemanasan keras untuk mengeluarkan pelarut dan mengunci profil. Jika bajet terma tidak betul, garis akan melebar, kekasaran tepi meningkat, dan keseluruhannya tiba-tiba dalam keadaan tidak baik. Lampu pemanasan resist DUV ada untuk mengurangkan variabiliti ini.
Apa yang sebenarnya penting di dalamnya
Kami membina lampu ini untuk membebaskan tenaga gelombang pendek di mana resist DUV sebenarnya menyerapnya, dengan bahagian kuarza yang mengekalkan spektrum yang stabil. Di seluruh chuck, keseragaman tahap wafer mengekalkan dalam ±0.1°C, jadi setiap wafer dalam batch melihat sejarah suhu yang sama. Tingkah laku bilik bersih bukanlah satu pemikiran selepas; ruang Kelas 1-100 tidak melihat sebarang bump zarah, dan zon panas kekal terkurung supaya pengeluaran gas tidak mencemari resist. Keluaran berulang beribu-ribu kitaran pemanasan, dan jisim termal diuruskan supaya anda tidak mengalami penyimpangan apabila garis beroperasi 24/7.
Mengapa ia berfungsi dalam litografi DUV
Hasil bergantung kepada tingkap proses yang boleh anda pegang. Kawalan termal yang lebih ketat mengurangkan penyimpangan CD dan melindungi margin overlay, yang bermaksud kurang sisa dan kurang pengubahsuaian. Pendekatan akhir garis tetap konsisten, dan kekasaran tepi menurun kerana profil pemanasan diulang dari lot ke lot. Penggabungan yang efisien dan penstabilan yang cepat mengekalkan penggunaan tenaga dalam kawalan, dan profil kebolehpercayaan memastikan anda tetap mengikut jadual tanpa masa henti yang tidak dijangka. Hasilnya adalah kurang pertarungan dengan parameter dan keluaran yang boleh anda ramalkan.
Apa yang perlu anda lakukan semasa pemasangan
Menyelaraskan jejak lampu dan antara muka dengan pelapis/pemanas anda adalah langkah pertama. Kami menyediakan spesifikasi penyambung dan data penjajaran, tetapi anda masih perlu mengesahkan geometri rongga oven. Jangkakan pemanasan awal yang cepat dan pemetaan termal untuk mengunci profil kepada stap resist anda. Dan satu nota praktikal: lampu perlu dipasangkan dengan laluan ekzos yang dinilai untuk bilik bersih untuk menangani volatile jejak semasa pemanasan suhu tinggi.