Mantenere pulite le wafer: la verità sulle lampade IR prive di ozono
In un ambiente di produzione semiconduttori ad alta intensità, il guasto di una lampada rappresenta un vero disastro. Non si tratta soltanto di tempi di fermata dell’attrezzatura: se il tubo di quarzo si rompe sopra una wafer di silicio, si creano schegge di vetro e residui chimici dappertutto. È un vero caos, e ciò influisce negativamente sulla qualità dei prodotti ottenuti.
Abbiamo progettato le nostre lampade IR prive di ozono proprio per evitare che ciò accada.
Il problema dell’ozono
La maggior parte delle lampade IR a onde corte emette radiazioni nell’intervallo da 185 nm a 254 nm. Il problema è che tali radiazioni reagiscono con l’ossigeno, producendo ozono. In un ambiente sterile, l’ozono rappresenta un elemento nocivo, capace di causare danni.
Per risolvere questo problema, utilizziamo filamenti dopati e quarzo specializzato. Questo permette di modificare lo spettro luminoso, in modo che le lunghezze d’onda responsabili della produzione di ozono non siano più presenti. Si ottiene comunque tutto il calore necessario per la polimerizzazione, ma senza i danni causati dall’ozono.
Prevenire la rottura dei tubi
La maggior parte dei tubi si rompe a causa dello shock termico: in pratica, non riescono a resistere ai cambiamenti improvvisi di temperatura.
Noi utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza. Ha un tasso di espansione molto basso, quindi può resistere a cicli di accensione/ spegnimento senza rompersi. Ma non ci siamo fermati qui: abbiamo anche aggiunto un rivestimento protettivo che funge da “rete di sicurezza”. Se il quarzo dovesse comunque rompersi, il rivestimento mantiene tutto insieme, impedendo che i frammenti cadano sulle wafer.
Un po’ di informazioni sul calore
Quando si applica una grande potenza in uno spazio ridotto, i supporti delle lampade ne subiscono le conseguenze. Le nostre lampade sono progettate per affrontare carichi elevati, ma è necessario assicurarsi che i sistemi di raffreddamento siano in grado di far fronte a tali carichi. Se il flusso d’aria è troppo debole, i componenti delle lampade si surriscaldano e i sigilli si rompono. È un problema fisico semplice, ma molti commettono errori in questo ambito.
Grazie alla cura dedicata alla purezza del quarzo e alla progettazione dei componenti, siamo riusciti a ridurre al minimo la produzione di particelle dannose. In questo modo, le lampade rimangono intatte, anche quando vengono sottoposte a carichi elevati.