בחדר הייצור, השינויים התרמיים פוגעים באיכות המוצר. עלייה של 0.5°C בטמפרטורה על פני הוופר במהלך תהליך הייבוש של הפוטורזיסט, או להט לא אחיד של המנורה במהלך תהליך האידוי – כל אלו הופכים את התהליך האמור להיות חזרתי, לתהליך לא אמין. פיתחנו את מנורת החימום Evatec כדי להיפטר מאותן בעיות.
מה חשוב מבחינה טכנית? המנורה משתמשת בגוף פלואורידי בעל גל אור קצר, הנמצא בתוך מעטפת קוורץ. כך נוצרת חום מיידי וישיר, עם זמן תגובה של פחות משנייה. באזור הפעיל של הוופר, האחידות בטמפרטורה נשמרת ברמה של ±0.1°C, והאמינות של הטמפרטורה נשמרת לאורך כל התהליך. העיצוב של המנורה מונע היווצרות של חלקיקים לא רצויים, כך שרמת הניקיון בחדר הייצור נשמרת ברמה הרצויה. המנורה פועלת 24/7 ללא הפסקות לא צפויות, וההספק שלה נשאר יציב לאורך 5,000 שעות ויותר – עם ירידה של פחות מ-5%.
למה זה עובד בפועל? בין אם מדובר בייבוש הוופרים לאחר ניקוי, בייבוש הפוטורזיסט באופן מבוקר, באטימת החומרים באריזות, או בשלב השטיפה והייבוש הסופי – האיזון התרמי נשמר. אחידות גבוהה בטמפרטורה מובילה לפחות פגמים בקצוות הוופר, לפחות עבודות תיקון, ולשליטה טובה יותר בממדים החיוניים בתהליך הליתוגרפיה. התגובה המהירה של המנורה מקצרת את זמן התהליך, וההספק היציב שלה מפחית את כמות החומרים המזוהמים ומאריך את חיי המנורה – פחות צורך בהחלפתה וצריכת אנרגיה נמוכה יותר לכל וופר.
מה עליכם לדעת? ההתקנה כוללת התאמה של חיבורי המנורה למערכת, ווידוא שקווי ההחזרה של האור תואמים את פתחי החדר. צפיפות האור של המנורה מותאמת לקצבי אידוי ספציפיים, כך שהחלפת המנורות בין מכונות שונות דורשת כיול מהיר של ההגדרות. לאחר ההחלפה, יש לבצע בדיקות כדי לוודא שהאחידות בטמפרטורה נשמרת.