במפעלי הייצור, שינוי קטן בשלב הייבוש יכול לגרום לכך שפרופילי הפוטורזיסט יסטו מהמפרט הנדרש. כתוצאה מכך, יש צורך לזרוק את הוואפרים הלא תקינים, וזה גורם לבזבוז אנרגיה מיותר. הבזבוז הזה גדל עם הזמן – בגלל מחזורי חימום לא יעילים והצורך בכיול חוזר. פיתחנו מערכת תרמית שמטרתה לפתור את שני הבעיות האלו: היא מפחיתה את צריכת האנרגיה, תוך שהיא שומרת על רמת חום אופטימלית לצורך הליתוגרפיה.
מה חשוב מבחינה טכנית? במהלך תהליך החימום, אנו שומרים על אחידות ברמת הוואפרים בטווח של ±0.1°C, כך שהחימום הרך והחימום החזק יהיו תואמים למפרט הנדרש. המערכת פועלת בחדרי ניקיון מדרגה 1–100, ללא הוספת חלקיקים, מה שמגן על איכות המוצרים בשלבים הקריטיים. ארכיטקטורת החימום מיועדת לפעולה 24/7, ללא הפסקות לא צפויות, ועם חיי שירות של יותר מ-10,000 שעות.
החזריות של המערכת נמדדת, ולא נניח אותה כמובנת מאליה. הפעולות החוזרות של המערכת מתבצעות ללא שינויים, ומעגל הבקרה נשאר יציב גם כאשר מתח החשמל משתנה.
למה זה עובד במפעלים אמיתיים? צריכת האנרגיה כאן ניתנת למדידה ולשליטה. אנו מבצעים בדיקות אנרגטיות שמחלקות את הצריכה לפי כל מחזור ולפי כל ואפר, ואז מתאימים את רמת החום כדי להפחית את החום העודף, מבלי לפגוע באיכות התהליך. כתוצאה מכך, יש זרימה מהירה יותר של התהליך, הורדת עלויות האנרגיה, ופחות ואפרים שצריך לזרוק – מבלי לשנות את תנאי התהליך של הפוטורזיסט. התוצאה היא שליטה קבועה בממדים הקריטיים, וירידה בעלויות לכל ואפר, מחודש לחודש.
דברים שצריך לדעת: המערכת מתחברת למכשירים ולתנורים הקיימים, אך היא דורשת מעגל חשמלי נפרד ואספקת אוויר נקי כדי לשמור על האחידות הנדרשת. יש לתכנן זמן קצר לכיול המערכת, כדי שההגדרות יתאימו לתהליך הפוטורזיסט. לאחר הכיול, המערכת פועלת כראוי – באופן רציף, חוזר על עצמו, ותוך שמירה על צריכת אנרגיה מינימלית.