دیگر اجازه ندهید وقت خود را صرف استفاده از لامپهای گرمایشی کند باشد؛ چرا که لامپهای مبتنی بر تابش مادون قرمز پوشیده شده با طلا، واقعاً مؤثر هستند.
اگر هنوز از روش گرمایش توسط هوای محرک برای گرم کردن ویفرها استفاده میکنید، میدانید که این روش چقدر غیرکارآمد است. در واقع، شما در حال گرم کردن یک حباب بزرگ از هوا هستید تا بتوانید انرژی لازم را به ویفرها منتقل کنید. این روش بسیار آهسته است؛ همچنین، مقدار زیادی انرژی در هوا از دست میرود، و زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر، بسیار طولانی است.
لامپهای مبتنی بر تابش مادون قرمز پوشیده شده با طلا، این مشکل را با حذف واسطهها حل میکنند؛ یعنی به جای گرم کردن هوا، انرژی تابشی را مستقیماً به سمت ویفرها ارسال میکنند.
نکته مهم در مورد طلا:
لامپهای کوارتزی عادی، انرژی گرمایی را در تمام جهات پخش میکنند؛ این کار بسیار هدررفت انرژی است. اما وقتی که یک لایه طلا روی داخل لوله کوارتزی قرار میگیرد، این لایه مانند یک آینه عمل کرده و تابش مادون قرمز را که معمولاً به سمت عقب پرتاب میشود، به سمت جلو منعکس میکند.
نتیجه این کار این است که پرتو گرمایی بسیار متمرکز و قویتری به سمت ویفرها ارسال میشود؛ در نتیجه، نیازی به افزایش میزان انرژی مصرفی نیست.
درباره مشکل اصلی: زمان…
در فرآیندهای پردازش پیشرفته، زمان بسیار مهم است؛ منتظر ماندن تا هوای گرم کل محفظه را پر کند، چند دقیقه طول میکشد. اما با استفاده از لامپهای مبتنی بر تابش مادون قرمز پوشیده شده با طلا، میتوانید در عرض چند ثانیه به دمای مورد نظر برسید.
این روش، پاسخ فوریای است؛ میتوانید دمای لازم را به سرعت ایجاد کنید و سپس آن را کنترل کنید. وقتی که بتوانید دمای محیط را به درستی کنترل کنید، زمان لازم برای پردازش هر ویفر، به طور قابل توجهی کاهش مییابد.
اما این روش جادویی نیست؛ مواردی وجود دارد که باید به آنها توجه کرد.
وقتی که تراکم گرما افزایش مییابد، باید مراقب گرادیانهای حرارتی باشید؛ اگر فاصله بین لامپها کمی نادرست باشد، نقاط گرمی ایجاد خواهد شد. و هیچ کس نمیخواهد ویفرهایی با ساختار نامنظم داشته باشد.
همچنین، باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما کافی باشد؛ بخشی از انرژی گرما، از دیوارههای محفظه منعکس میشود؛ اگر مراقب نباشید، لامپها آسیب خواهند دید.
نصب این لامپها در سیستمهای شما…
نکته خوب این است که این لامپها معمولاً قابل جایگزینی با لامپهای معمولی هستند؛ آنها به راحتی میتوانند در سیستمهای IR معمولی نصب شوند.
این لامپها در محیطهای با فشار منفی بالا یا اتاقهای پاک، بسیار مفید هستند؛ زیرا در این محیطها نمیتوان هوا را جابجا کرد بدون اینکه خطر آلودگی ایجاد شود. اگر از روش گرمایش معمولی خسته شدهاید و میخواهید سرعت پردازش را افزایش دهید، این روش بهترین گزینه است.