Manteniendo limpias sus obleas: La verdad sobre las lámparas infrarrojas sin ozono
En un entorno de producción de semiconductores a gran escala, una falla en las lámparas representa un verdadero desastre. No se trata solo del tiempo de inactividad; si el tubo de cuarzo se rompe sobre una oblea de silicio, habrá fragmentos de vidrio y residuos químicos por todas partes. Es un verdadero desorden, y eso afecta negativamente la calidad de los productos obtenidos.
Hemos diseñado nuestras lámparas infrarrojas sin ozono específicamente para evitar que esto ocurra.
El problema con el ozono
La mayoría de las lámparas infrarrojas convencionales emiten radiación en el rango de 185 nm a 254 nm. El problema es que esa radiación reacciona con el oxígeno, generando ozono. En una sala limpia, el ozono es como un enemigo corrosivo.
Para solucionar este problema, utilizamos filamentos dopados y cuarzo especializado. Esto permite desplazar el espectro de luz, de modo que las longitudes de onda que generan ozono no estén presentes. De esta manera, se sigue obteniendo todo el calor necesario para el proceso de curado, pero sin los efectos corrosivos que podrían dañar el entorno.
Evitando que los tubos se rompan
La mayoría de los tubos se rompen debido al estrés térmico; en otras palabras, no pueden soportar los cambios bruscos de temperatura.
Utilizamos cuarzo sintético de alta pureza. Este material tiene una tasa de expansión muy baja, por lo que puede resistir los ciclos de encendido/apagado sin romperse. Pero no nos detuvimos ahí. También añadimos una funda protectora que actúa como una especie de red de seguridad. Si el cuarzo se rompe, la funda mantiene todo en su lugar, evitando que los fragmentos caigan sobre las obleas.
Un par de palabras sobre el calor
Cuando se aplica una gran cantidad de energía en un espacio reducido, los soportes de las lámparas también sufren las consecuencias. Nuestras lámparas están diseñadas para soportar cargas elevadas, pero es necesario asegurarse de que los sistemas de refrigeración sean capaces de hacer frente a esa carga. Si el flujo de aire es insuficiente, las piezas de las lámparas se sobrecalentarán y los sellos se dañarán. Es un problema de física sencillo, pero muchos tienen dificultades para resolverlo.
Al preocuparnos por la pureza del cuarzo y por las propiedades físicas de la carcasa de las lámparas, hemos logrado reducir la formación de partículas. Esto significa que las lámparas permanecen intactas, incluso cuando se someten a cargas elevadas.