En la línea de producción, la deriva térmica afecta negativamente al rendimiento del proceso. Un punto caliente de 0.5°C en la oblea durante el secado del fotorrésista, o una lámpara que funciona mal durante el proceso de evaporación, convierten un proceso que debería ser reproducible en algo impredecible. Por eso hemos desarrollado la lámpara de calentamiento Evatec, para eliminar esa incertidumbre.
Lo que realmente importa desde el punto de vista técnico
La lámpara utiliza un emisor halógeno de onda corta dentro de un envoltorio de cuarzo, lo que permite una transmisión rápida y directa de calor, con una respuesta en menos de un segundo. En toda la superficie de la oblea, la uniformidad de temperatura se mantiene en ±0.1°C, y la repetibilidad de la temperatura es alta, desde el proceso de secado suave hasta el proceso de secado intenso. El diseño evita cualquier tipo de fluctuación en la temperatura, por lo que los niveles de contaminación en la sala limpia se mantienen dentro de los límites permitidos. La lámpara puede funcionar las 24 horas del día, sin interrupciones, y su rendimiento se mantiene estable durante más de 5,000 horas, con una disminución inferior al 5%.
Por qué funciona en la práctica
Ya sea que se trate de secar obleas después de su limpieza, aplicar un perfil de secado controlado al fotorrésista, curar los materiales de encapsulamiento o realizar el proceso final de enjuague y secado, la temperatura se mantiene bajo control. Una buena uniformidad de temperatura reduce los defectos en los bordes de las obleas, disminuye la necesidad de retrabajo y permite un mejor control de las dimensiones críticas en el proceso de litografía. La rápida respuesta de la lámpara reduce el tiempo de ciclo, mientras que su rendimiento estable reduce los desechos y prolonga la vida útil de la lámpara, lo que significa menos reemplazos y menor consumo energético por oblea.
Esto es lo que necesita saber
Para instalarla, es necesario asegurarse de que la interfaz de conexión de la herramienta sea compatible y que la geometría del reflector coincida con la apertura de la cámara. La densidad de luz emitida por la lámpara está ajustada a ciertas tasas de evaporación; por lo tanto, al cambiar la lámpara entre diferentes máquinas, es necesario realizar un rápido ajuste de los parámetros de configuración. Después del cambio, es recomendable realizar una prueba de funcionamiento y comprobar la uniformidad de temperatura.