V prostředí litografie stačí odchylka o 2 °C při zahřívání fotorezistoru k tomu, aby se kritické rozměry změnily o několik nanometrů – což znamená, že spousta destiček se promění v odpad. Infravlní žárovka R7s je navržena tak, aby tepelný efekt působil pouze v té oblasti, kam patří – a ne všude kolem.
Co je důležité
Žárovka R7s působí na fotorezistor a substrát pomocí krátkovlnného infračerveného záření, čímž přenáší teplo přímo do daných oblastí. Hodnota teploty se rychle ustálí a zůstává konstantní. Na povrchu destiček je požadována rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C – to umožňuje opakované použití stejného postupu zahřevu u každé série destiček.
Kvartzový plášť a uspořádání vnitřních součástí jsou navrženy tak, aby nedocházelo ke vzniku částic při každém zvyšování teploty. V čistých prostorách třídy 1–100 to zabraňuje prudkým změnám počtu částic. Můžete se tak spolehnout na stabilní výkon po dobu více než 5 000 hodin – s poklesem nižším než 5 %, což znamená možnost provozu 24/7 bez nutnosti neustálé kalibrace.
Proč se hodí do procesu litografie
Litografie vyžaduje přesnou kontrolu teploty. Přehřátí způsobuje odpařování rozpouštědel a změnu viskozity. Nedostatečné zahřátí zase způsobuje vznik kapének na okrajích destiček, což narušuje jejich kvalitu. S žárovkou R7s máte lepší kontrolu nad teplotou a dobou zahřevu – takže stejný postup funguje vždy stejně, u každé série destiček.
Taková reprodukovatelnost snižuje množství oprav, zvyšuje výtěžnost a zkracuje dobu cyklu. Také spotřebujete méně energie, protože reakce je rychlá a ztráty minimální. Dlouhá životnost žárovky znamená méně oprav a méně času stráveného na opravách zařízení.
Na co si dát pozor
Žárovka R7s je určena pro standardní zásuvky typu R7s, ale i samotná instalace musí být vhodná – geometrie reflektoru a proudění vzduchu musí odpovídat tepelnému profilu žárovky, aby byla dosažena požadovaná rovnoměrnost teploty ±0,1 °C. Před ustálením teploty existuje krátké období na ohřátí – proto je potřeba ji sladit s řídícím systémem nanášecího zařízení.
Pro co nejlepší výsledky použijte žárovku spolu s kalibrovaným senzorem teploty a řídícím zařízením, které dokáže kompenzovat kolísání napětí v síti.