http://warm-ir-halogen.com/zh/tags/%E5%AE%A1%E8%AE%A1/ Recent content in 审计 on Warm IR Halogen Heating Hugo zh Sat, 20 Jun 2026 02:33:30 +0800 http://warm-ir-halogen.com/zh/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Sat, 20 Jun 2026 02:33:30 +0800 http://warm-ir-halogen.com/zh/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="工厂干燥系统的能源审计"></p> <p>在晶圆制造过程中，如果在干燥阶段出现哪怕微小的偏差，都可能使光刻胶的厚度超出标准范围。这样一来，就必须报废那些有问题的晶圆，同时还会白白浪费能源。而能源浪费的问题会不断累积——因为加热过程效率低下，还需要不断进行调整。我们设计的加热系统可以解决这两个问题：既能够减少能源消耗，又能确保温度控制精度，从而满足光刻工艺的要求。</p>