http://warm-ir-halogen.com/zh/tags/%E5%85%89%E5%88%BB%E8%83%B6/ Recent content in 光刻胶 on Warm IR Halogen Heating Hugo zh Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/zh/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 01:53:08 +0800 http://warm-ir-halogen.com/zh/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-halogen.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="均匀性光刻胶烘烤灯"></p> <p>在光刻工序中，软烘烤和硬烘烤阶段决定了光阻层的厚度是否均匀。如果晶圆各处的烘烤温度不均匀，就会导致<a href="https://henruite.com">光阻层厚度</a>出现差异。这种差异会在刻蚀后体现为晶圆厚度的波动，最终使得晶圆无法使用。</p> <p><strong>关键在于精确控制温度</strong><br> <a href="https://o-yate.net">我们设计的</a>光阻烘烤灯采用了短波近红外光源阵列，同时搭配了碳纤维增强型石英窗口。这种设计能够将晶圆表面的温度控制在±0.1°C以内，而各次烘烤之间的温度重复性则保持在±0.5°C左右。16个传感器构成的阵列可实现对温度的闭环控制，从而确保光阻层中的溶剂能够被有效去除，且不会过度加热。该灯具可在1级至100级的洁净室中24/7持续工作，产生的颗粒物数量极少，实测数值低于0.01/cm²。</p> <p>正是由于这样的精准控制，才能确保光阻层的厚度保持稳定。软烘烤阶段能确保溶剂均匀地从光阻层中排出，而硬烘烤阶段则能确保光阻层厚度保持恒定，从而让线路宽度和侧壁角度都保持在其理想状态。</p>